2023年1月，某超小型MEMS壓力傳感器芯片成功研制，器件技術指標達到國際先進水平，為解決該項技術的“卡脖子”問題、實現產品自主可控邁出了堅實的一步。作為技術團隊的負責人，57歲的北京大學集成電路學院教授級高級工程師高成臣倍感欣慰。他帶領團隊克服了研制難度大、配套實驗能力不足等困難，最終不負所托，給用戶交出了令人滿意的答卷。高成臣躬耕傳感器制備和研究35年，不斷追求完美，突破了一項又一項技術難關。

攻堅克難，于傳感器領域辛勤耕耘數十載

1988年從東南大學畢業參加工作后，高成臣一直專注于壓力傳感器等物理量傳感器技術和產品的研制開發，始終面向國家重大需求，瞄準“卡脖子”關鍵技術，努力追求卓越，領導項目團隊完成了耐高溫、耐低溫、耐大動態沖擊、高精度等多款MEMS壓力傳感器的產品開發，圓滿完成了多項重點裝備的配套產品和供貨任務。

高精尖領域的跋涉自然是困難重重，高成臣從不輕易放棄。2000年，某重大工程急需大量程差壓傳感器，但國內尚無可用產品。在當時沒有可借鑒的技術方案、研制條件和配套能力不完備的情況下，面對國家急需，高成臣和項目組同事義無反顧地承擔了產品配套研制任務。

高成臣是個對技術精益求精的人，對于擋在前路的“巨石”他從不畏懼。他常說的一句話就是：“只要理論上沒有邊界，技術上就有突破的可能。”課題組在高成臣的領導下攻堅克難，經過多次實驗和技術論證，終于確定了技術可行方案，完成了初代產品的研制。

然而，還沒來得及慶祝技術上的突破，某項指標在嚴苛環境實驗中考核失敗的陰影便開始籠罩在項目組。項目組的很多成員開始動搖，懷疑技術方案的可行性。面對質疑，高成臣不輕言放棄，他帶領項目組同事仔細分析實驗數據，查找問題根源，并鼓勵大家不囿于常規，尋求創新的解決方案。功夫不負有心人，經過多次的縝密調制，改進后的柔性密封方案終于解決了該重大工程的關鍵技術卡點，形成了配套壓力傳感器產品的批量供貨能力。

精益求精，于北大學術沃土追求完美設計

2008年，因工作需要，高成臣調入北京大學工作。利用學校得天獨厚的科研條件和人才優勢，高成臣將工作重心由產品研制轉向了傳感器先進技術的研究。“北京大學的文化兼容并包，在這里可以接觸到各領域最頂尖的學者，有著最優秀的生源，大家都很自覺地奉獻科研，很主動地追求最完美的設計方案。”高成臣說道。

彼時，我國在高性能壓力傳感器技術方面還相對比較落后，高端壓力傳感器芯片的供貨長期被國外公司壟斷，亟待技術上的突破。為了打破國外產品的壟斷，高成臣和團隊克服了研制經費不足、成果周期長、工程技術隊伍緊缺等困難，堅守高端壓力傳感器的研究。他始終秉承“不斷追求完美的設計是獲得高性能傳感器的前提”的理念，堅信在結構及工藝方案設計上追求盡善盡美是實現高端傳感器的關鍵所在，并領導團隊始終如一地踐行這一理念。

經過多年的不懈鉆研，高成臣領導團隊在MEMS壓阻式壓力傳感器的耐高溫、微小型化、高頻響及高精度等多方面取得突破，研制出多款壓力傳感器產品。曾經，國內某用戶單位原本對學校研制的產品持懷疑態度，但該用戶測評后發現該傳感器性能優異，完全可以替代國外產品，并將其用于壓力控制儀中的壓力標準傳感器。該項技術的突破，使得我國成為國際上少數幾個掌握頂級精度壓阻式壓力傳感器核心技術的國家。

30余年在傳感器研究領域的努力耕耘也得到了國家機關和專家學者的肯定。高成臣牽頭的壓力傳感器項目得到了鑒定專家組的高度認可，“總體技術達到國際先進水平，得到了大量應用，為裝備發展作出了重要貢獻，也為新一代裝備的發展提供了重要技術儲備”。該項目獲得了2019年教育部科技進步一等獎。

立德樹人，于科研積累中傳承家國情懷

在開展新技術研究方面，高成臣和團隊在選題上始終遵循“不管做哪方面科研，首當其沖是面向國家需求”的觀點，尤其是要面向國家的重大工程急需，要有解決“卡脖子”問題的決心和勇氣。

2013年，在認識到聲矢量傳感器技術是未來聲學的重要方向，也是解決現有工程中問題的重要手段后，高成臣面對陌生學科領域，努力補足知識短板，毅然決然地開啟了該方向的研究工作。他帶領研究團隊在熱式聲矢量傳感器的敏感機理、敏感元件的結構設計、敏感元件加工、檢測電路及測試方法上取得了豐碩成果。在團隊的不懈努力下，聲矢量傳感器當前的技術指標已經達到國際先進水平，該技術方向也成為微米納米加工技術全國實驗室的重點研究方向之一。

高成臣是一名中共黨員，作為學校中的教授級高級工程師，他不僅要完成好作為工程團隊負責人的目標，更要做好學生的立德樹人工作，在言傳身教中做學生的榜樣。面對學生在科研攻關和上手工程時所出現的困難，高成臣不僅手把手地引導學生從困境中走出，更注重在精神上鼓勵學生樹立克服困難的勇氣和決心，作“目標遠大，腳踏實地”的科研人才。

“北大的學生們都是好樣的，我非常滿意，我們的合作單位也經常對北大的同學贊不絕口。我希望能在日常的言傳身教中把愛國的情懷傳承下去。”如今，已近花甲之年的高成臣仍帶領著朝氣蓬勃的年輕人在攻克高端傳感器難題的道路上奮勇拼搏，力爭為突破“卡脖子”技術、推動我國傳感器的研發工作作出更大的貢獻。

審核編輯：劉清