CO2激光相位延遲反射鏡分為零相位延遲反射鏡ZPR（Zero Phase Retardation Reflectors）和部分相位延遲反射鏡PRR（Partial Retardation Reflectors）。

ZPR零相位延遲反射鏡，是指在硅或銅基底材質的基礎上，表面鍍零相位反射鍍膜層，能夠保持光束傳輸系統的圓偏振；而PRR部分相位延遲反射鏡表面鍍的是1/4相位反射薄膜，能夠將CO2激光的線偏振轉為圓偏振激光束。

零相位延遲反射鏡ZPR

ZPR零相位延遲鏡是利用高度增強的零相薄膜涂層，應用于硅或銅反射鏡基板。這種設計為低損耗偏振不敏感CO2激光反射鏡奠定了基礎，這樣的CO2零相位延遲反射鏡的功能主要是在保持光束傳輸系統的圓偏振。

ZPR零相位延遲鏡規格參數：

部分相位延遲反射鏡PRR

部分相位延遲反射鏡是由一個高效的1/4λ相位反射薄膜涂層組成，并涂在高度拋光的鏡面基底上。這種專有涂層設計，能夠將線性偏振的CO2激光束改變為圓形偏振的激光束。

Cu&Si相位延遲反射鏡的重要參數如下：

部分相位延遲反射鏡規格：

- 直徑公差：+0.000英寸/-0.005英寸

- 厚度公差：±0.010英寸

- 機械楔Mechanical Wedge：<5弧分

- 平整度：Cu PRR：<1/20th波@10.6um

Si PRR：<1/40th波@10.6um

- 表面處理（劃痕挖掘）：Cu PRR: 40-20

Si PRR: 40-20

PRR部分相位延遲反射鏡規格參數：

審核編輯：黃飛