大連理工大學(xué)發(fā)布氮化鎵氣體傳感器專利
大連理工大學(xué)在2024年3月公開發(fā)表了一項名為“氮化鎵氣體傳感器及其制備方法、應(yīng)用”的專利，編號為CN117761126A。
該發(fā)明的核心在于一種以氮化鎵薄膜為主要材料的氣體傳感器的制備與運(yùn)用。其制法包括：首先，通過對襯底進(jìn)行鍍膜工藝生成非晶氮化鎵薄膜，然后將其加熱至特定溫度，使之轉(zhuǎn)化為多晶氮化鎵薄膜；接著，利用濕法腐蝕技術(shù)，在多晶氮化鎵薄膜表面形成多孔結(jié)構(gòu)，最后，使用光刻及圖案化工藝在這一具有多孔結(jié)構(gòu)的襯底上制作出叉指電極圖形作為最終產(chǎn)品。該設(shè)計以特殊的叉指電極圖形為基礎(chǔ)，實現(xiàn)了對氨氣的高靈敏度、低檢測限及高敏選擇性的要求。
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