在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

0
  • 聊天消息
  • 系統消息
  • 評論與回復
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學習在線課程
  • 觀看技術視頻
  • 寫文章/發帖/加入社區
會員中心
創作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領取20積分哦,立即完善>

3天內不再提示

可變冷光闌紅外探測器研究進展和關鍵技術分析綜述

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-05-27 10:02 ? 次閱讀

為了進一步提高紅外變焦光學系統的性能,兼顧其空間分辨率和靈敏度的要求,基于可變冷光闌技術的制冷型變F數紅外探測器需求迫切。相較于傳統的紅外變焦光學系統,變F數紅外變焦光學系統可在大視場和小視場切換時保持分辨率和靈敏度的平衡,提高光學系統的孔徑利用率,進而縮小光學系統的徑向尺寸,有利于紅外光學系統成像質量的提升和小型化設計。

據麥姆斯咨詢報道,昆明物理研究所科研團隊對變F數與變焦之間的關系進行研究,概述了國內外在可變冷光闌紅外探測器技術領域的研究進展,并對主流技術路線的關鍵技術難點進行了分析。相關研究內容以“可變冷光闌紅外探測器研究進展和關鍵技術分析”為題發表在《紅外技術》期刊上。

變焦和變F數的關系

變焦光學系統的理論依據:光學系統的焦距是一項重要的設計指標,其關系到系統的視場角、空間分辨率等關鍵性能。

變F數與變焦的關系:為了理清變焦與變F數的關系,首先對傳統的紅外變焦系統進行分析。傳統變焦系統中,探測器的F數是固定不變的,而光學系統(為方便討論,將冷屏作為光學系統的一部分)的F數則分以下幾種情況:

① 假設系統在最長焦距時入瞳尺寸與物鏡尺寸相等:該種情況下,光學系統的F數由最長焦距和物鏡尺寸的比值決定,此時冷屏開口即為系統的孔徑光闌。在系統由最長焦距切換到短焦狀態時,孔徑光闌及其尺寸均保持不變,入瞳由原來占滿整個物鏡逐步等比例縮小。由F數的公式可知,此時光學系統的F數保持不變。如圖1所示,探測器的F數固定不變,為F/3,在長焦窄視場時,通光孔徑被完全利用,見圖中淺藍色部分;當系統切換至短焦大視場狀態時,通光孔徑大幅減小,見圖1中深藍色部分。

1911ec40-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖1 傳統變焦紅外光學系統的孔徑利用率示意圖

② 假設系統在最短焦距時入瞳尺寸與物鏡尺寸相等:該種情況下,系統的F數由最短焦距和物鏡尺寸的比值決定。在系統由短焦向長焦切換時,由于物鏡尺寸固定,孔徑光闌不再是冷屏開口,物鏡邊框成為了新的孔徑光闌,也就是說此時雖然焦距在變大,但是入瞳直徑保持不變,使得光學系統的F數逐步增加,并大于探測器的F數,造成冷屏效率的下降。如圖2所示,光學系統的F數為F/6,探測器的F數為F/3,光學系統的F數大于探測器,光學系統自身產生的紅外輻射大量的進入焦平面,大幅增加系統的NETD,干擾成像。

192780a0-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖2 25%冷屏效率系統的輻射示意圖

實際的變焦光學系統設計時,往往是上述兩種情況的平衡,通常不會只考慮某一個狀態的性能。而對于變F數光學系統來說,在設計時保證系統在各個焦距下的孔徑光闌均為探測器冷光闌,則當系統由長焦變換到短焦時,通過等比例增大冷光闌尺寸,可保證入瞳尺寸保持不變,通光孔徑被充分利用,如圖3所示。

194ccbe4-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖3 變F數紅外光學系統的孔徑利用率示意圖

當系統由短焦變為長焦時,變F數光學系統可以通過等比例減小探測器冷光闌開口尺寸,使得探測器的F數變大,從而保持100%的冷屏效率,避免系統自身的雜散輻射進入焦平面,如圖4所示。

196021b2-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖4 100%冷屏效率系統的輻射示意圖

變焦光學系統可兼顧大視場搜索目標和極小視場識別目標的需求,但是由于探測器的F數固定不變,因此要么不能充分利用通光孔徑,要么引入大量雜散輻射,不能達到最佳的成像質量。而變F數光學系統則可以很好地解決上述問題。因此理論上,凡是紅外變焦光學系統應用的場合,變F數光學系統均可應用,具有廣泛的應用前景。

可變冷光闌紅外探測器的研究進展

可變冷光闌的優勢

可變冷光闌紅外探測器技術是目前實現變F數紅外系統的重要技術路線。相對于溫闌來說,其具有以下幾個優勢:

F數調節范圍大且可連續調節。為了解決溫闌自身及反射的雜散輻射對成像的影響問題,通常做成球面溫闌,這使得F數調節范圍小,通常只有兩個F數可以選擇,或者只能在某兩個接近的F數之間進行調節,而可變冷光闌紅外探測器可實現系統F數的連續可調,且調節范圍較大。

可降低系統的復雜度。在傳統變焦光學系統中增加溫闌設計,將大幅增加光學系統的復雜度和成本。而采用可變冷光闌紅外探測器,只需針對探測器杜瓦封裝結構進行設計和裝配,可大幅降低系統的復雜度。

可提升系統的靈敏度。長春光機所的常松濤等人研究了球面溫闌對中波640×512(15 μm)紅外探測器的NETD的影響,假設球面溫闌的溫度為20℃,球面溫闌的發射率為0.01,當溫闌發生0.5℃的溫度變化時,溫闌引入的NETD達到3.6 mK,雖然引入的NETD很小,但也接近目前探測器本身的NETD。而采用可變冷光闌探測器的方法,引入的NETD可進一步降低。

可變冷光闌紅外探測器的研究進展

國外研究進展:美國彈道導彈防御局(BMDO)在2000年為高空觀測系統(HALO)進行更新時設計了一個雙波段紅外分光系統。如圖5所示,該系統在中波和長波的焦平面前端分別設置濾光片轉盤,每個轉盤上可放置5片不同帶通的濾光片以及一片用于背景測試的空白片。美國OKSI公司的Nahum Gat等人先后開發了兩套中繼光學系統,如圖6所示。2013年Nahum Gat等人提出了與杜瓦集成封裝的內置式可變冷光闌結構,該結構相較于外置可變冷光闌結構來說結構緊湊,如圖7所示。2014年,雷神公司的Jeffrey和Eric等人在Nahum Gat的基礎上改進了刀片虹膜式的可變冷光闌結構,其結構示意圖如圖8所示。雷神公司的第三代前視紅外系統是可變冷光闌探測器技術的集大成者。其冷光闌結構如圖9所示。此外,雷神公司將中長雙波段探測器芯片、雙F數可變冷光闌、制冷機、制冷機驅動電路、成像控制電路、冷光闌控制電路等均集成為一個前視紅外系統,該系統的體積和重量相對于第二代長波標準先進杜瓦組件(SADA Ⅱ)來說反而更小。包含中長雙波段探測器芯片、雙F數可變冷光闌、制冷機、成像控制電路、冷光控制電路等均在內的第三代前視紅外系統的組成以及實物如圖10所示。

19737032-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖5 HALO的雙色紅外系統

1993085c-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖6 帶可變冷光闌的真空密封結構和外置可變光闌與濾光片轉盤的集成結構

199782e2-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖7 刀片虹膜式可變冷光闌

199c0754-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖8 雙穩態螺線管驅動的可變冷光闌示意圖

19b35800-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖9 雷神公司可變冷光闌杜瓦俯視圖

19bff77c-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖10 第三代前視紅外系統的主要組成部件及系統的實物圖

國內研究進展:國內對基于可變冷光闌的變F數紅外探測器研究較少。上海技物所于2001年發明了一種帶可變冷光闌功能的用于紅外探測器芯片中測的杜瓦(如圖11所示),上海技物所的可變冷光闌結構用于芯片的中測篩選,對結構的小型化以及制冷時間、制冷量的要求不高,因此不適合正式的紅外探測器。2014年長春光機所發明了一種與濾光片轉盤相似的可變光闌機構(如圖12所示)。在光學系統設計方面,613所于2017年設計了可以匹配不同F數探測器的中波大視場光學系統;中電科11所于2022年設計了F/2和F/4可調的變F數光學系統。

19d386ac-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖11 用于中測杜瓦的可變冷光闌

19d79580-1ab1-11ef-b74b-92fbcf53809c.jpg

圖12 可變式的固定光闌

目前國內對于可變冷光闌紅外探測器的研究較少,相關產品不夠成熟;國外也只有美國雷神公司對該技術進行深入研究,目前產品已進行小批量試制。通過對國內外研究現狀的對比,可以發現雷神公司采用的與杜瓦集成封裝的內置式可變冷光闌是實現變F數紅外探測器的可行的技術路線。該技術路線有如下幾點優勢:1)集成度高:針對640×480(20 μm)的芯片封裝,雷神公司的探測器體積和重量甚至還略小于SADA II探測器;2)可靠性高:可變冷光闌在制冷狀態下可進行1萬次的開合運動,在非制冷狀態下可進行10萬次的開合運動;3)功耗低:由于可變冷光闌機構與杜瓦進行集成封裝,無需單獨為其再配備制冷機,因此功耗不大于75 W,且常溫降溫時間小于10 min;4)響應時間快:雖然雷神的報道中沒有明確說明F數的切換時間,但是根據其使用的壓電電機的特性,F數的切換時間可滿足光學系統視場切換時間的要求。

可變冷光闌紅外探測器的關鍵技術

采用刀片虹膜式的可變冷光闌結構,并將其與杜瓦進行集成封裝,存在以下關鍵技術:

1)可變冷光闌杜瓦的整體設計技術

可變冷光闌杜瓦與傳統的固定光闌杜瓦在設計上有很大的不同,需從整體設計上來保證功能的實現。主要需考慮整體結構設計、光闌片的設計、驅動方式的選擇、結構的溫度控制、整體裝配集成、小型化以及可靠性等多方面的技術。

2)可變冷光闌精密裝配技術

可變冷光闌涉及到光闌片的精密裝調、驅動電機的隔熱裝配以及整體結構的精密封裝等裝配步驟,由于其結構比傳統冷屏結構復雜得多,且存在運動部件,其裝配更加困難。而光闌片的裝配精度關系到運動機構的長期可靠性以及運動過程中的摩擦力,同時影響驅動功率的大小;而驅動電機的裝配精度關系到光闌片的受力均勻性以及溫控效果;整體結構的裝配精度關系到成像的質量。因此需從設計和工藝等多方面進行綜合考慮,保證其裝配精度及長期可靠性。

3)微型電機設計和制造技術

對于可變冷光闌來說,壓電陶瓷電機是一種比較適合的驅動方式。壓電陶瓷電機單位體積下的力矩較大,沒有電磁干擾,具有斷電自鎖功能。一方面,為了縮小可變冷光闌紅外探測器的體積,壓電陶瓷電機的體積必須很小,另一方面,光闌片的運動阻力要求壓電電機的力矩不能過小。因此需通過電機結構設計優化、高性能壓電陶瓷的制造、電機制造工藝的改進等多個方面實現小型化大力矩電機的研制,將杜瓦的體積控制在可接受的范圍內。

4)杜瓦熱固耦合設計技術

可變冷光闌由于引入了復雜的運動機構,冷頭熱質量大幅增加,因此,需從結構設計以及材料選擇等多方面進行研究和考慮,減小杜瓦熱質量,解決快速制冷的問題。此外,可變冷光闌通過電機與杜瓦外殼熱連接,需通過結構設計減小杜瓦的漏熱。最后,光闌片之間通過疊加的方式互相貼合,熱阻很大,需減小光闌片之間以及光闌片與冷屏之間的熱阻,從而使光闌片溫度降低至不影響焦平面成像的水平。

5)可變冷光闌運動控制技術

探測器的F數由冷光闌的開口尺寸決定,因此需精確控制冷光闌的運動,從而精確控制探測器的F數。壓電陶瓷電機具有斷電自鎖的功能,即電機斷電后可變冷光闌將立即停止運動,停在斷電瞬間的位置,因此在控制方面只需要考慮可變冷光闌運動的反饋問題即可,這關鍵在于選擇合適的小型化位置傳感器,并結合可變冷光闌的結構設計,將傳感器安裝固定在合適的位置。

6)光闌片表面鍍膜技術

光闌片表面需進行鍍膜處理,膜層需滿足摩擦系數小、耐磨以及反射率低3個條件。摩擦系數小可以減小光闌片之間的摩擦力,減小壓電電機的力矩需求,有利于電機的小型化;耐磨性高則有利于可變冷光闌機構的可靠性,防止出現膜層脫落干擾成像的現象;反射率低則可以防止芯片的冷反射。

結論

這項研究從變焦和變F數的關系出發,闡述了變F數光學系統的優勢。與傳統的變焦光學系統相比,具有可變F數功能的變焦光學系統可兼顧系統的空間分辨率和靈敏度需求,提高系統的孔徑利用率,有利于成像質量的提升和系統的小型化。對可變冷光闌的研究進展進行了分析,發現雷神公司的內置刀片虹膜式可變冷光闌是可行性高、性能優異的技術路線,并對該技術路線的關鍵技術進行了詳細分析。對可變冷光闌紅外探測器的研究和應用提供了參考。

論文信息

http://hwjs.nvir.cn/cn/article/id/7222d189-ab24-490d-9bd9-98f665c31ed1



審核編輯:劉清

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
  • 控制電路
    +關注

    關注

    82

    文章

    1719

    瀏覽量

    136100
  • 紅外探測器
    +關注

    關注

    5

    文章

    290

    瀏覽量

    18157
  • 濾光片
    +關注

    關注

    2

    文章

    81

    瀏覽量

    10983
  • 驅動電機
    +關注

    關注

    9

    文章

    416

    瀏覽量

    30800

原文標題:綜述:可變冷光闌紅外探測器研究進展和關鍵技術分析

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

收藏 人收藏

    評論

    相關推薦

    碳化硅(SiC)MOSFET并聯應用均流控制技術綜述

    碳化硅(SiC)MOSFET并聯應用均流控制技術綜述,傾佳電子楊茜綜合了當前研究進展關鍵技術方向。
    的頭像 發表于 02-05 14:36 ?46次閱讀
    碳化硅(SiC)MOSFET并聯應用均流控制<b class='flag-5'>技術</b>的<b class='flag-5'>綜述</b>

    被動紅外探測器的特點和安裝使用要求

    被動紅外探測器是一種采用被動紅外方式,以達到安保報警功能的探測器。其特點和安裝使用要求如下: 特點 被動接收紅外輻射 :
    的頭像 發表于 09-20 11:43 ?974次閱讀

    被動紅外探測器接線方法

    被動紅外探測器(Passive Infrared Detector,簡稱PIR)是一種利用人體發出的紅外輻射來檢測人體移動的傳感。它廣泛應用于家庭、辦公室、商場等場所的安全監控系統中
    的頭像 發表于 09-20 11:40 ?683次閱讀

    被動紅外探測器與主動紅外探測器的原理比較

    被動紅外探測器(Passive Infrared Detector, PIR)和主動紅外探測器(Active Infrared Detector, AID)是兩種常見的安全監控設備,它
    的頭像 發表于 09-20 11:38 ?1259次閱讀

    被動紅外探測器和主動紅外探測器的區別

    被動紅外探測器和主動紅外探測器是兩種常見的安全監控設備,它們在防盜、監控、邊界防護等方面有著廣泛的應用。這兩種探測器的主要區別在于它們檢測
    的頭像 發表于 09-20 11:35 ?1502次閱讀

    LoRa人體紅外探測器的原理

    LoRa人體活動紅外探測器IDM-ET14款高可靠性的探測人體熱釋電紅外探測器,基于LoRa無線通信技術
    的頭像 發表于 08-20 15:27 ?404次閱讀
    LoRa人體<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測器</b>的原理

    探索紅外熱成像探測器的基礎原理

    紅外熱成像探測器究竟是什么?它是如何工作的呢?讓我們一起來揭秘。紅外熱成像探測器:神奇的熱能揭示者紅外
    的頭像 發表于 07-03 16:06 ?960次閱讀
    探索<b class='flag-5'>紅外</b>熱成像<b class='flag-5'>探測器</b>的基礎原理

    非制冷紅外探測器的敏感材料

    ,并將這種無形的輻射轉化成我們可以分析研究的電信號。你是否想過,是什么使紅外探測器具有這種神奇的功能呢?答案就是敏感材料。敏感材料是紅外
    的頭像 發表于 06-27 17:24 ?578次閱讀
    非制冷<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測器</b>的敏感材料

    中科院重慶研究院在勢壘可光調諧新型肖特基紅外探測器研究進展

    傳統肖特基探測器和勢壘可光調諧的肖特基紅外探測器的對比 近日,中科院重慶綠色智能技術研究院微納制造與系統集成研究中心在《創新》(The In
    的頭像 發表于 06-25 06:27 ?335次閱讀
    中科院重慶<b class='flag-5'>研究</b>院在勢壘可光調諧新型肖特基<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測器</b><b class='flag-5'>研究</b>獲<b class='flag-5'>進展</b>

    超導單光子探測器在生物領域中的應用進展綜述

    自2001年被發明以來,超導納米線單光子探測器(SNSPD)迅速成長為近紅外波段的明星光子探測器,其在近紅外波段如1550 nm處系統探測
    的頭像 發表于 05-31 09:31 ?1.7w次閱讀
    超導單光子<b class='flag-5'>探測器</b>在生物領域中的應用<b class='flag-5'>進展</b><b class='flag-5'>綜述</b>

    紅外探測器封裝秘籍:高可靠性鍵合工藝全解析

    紅外探測器在現代科技領域中扮演著舉足輕重的角色,廣泛應用于溫度檢測、環境監控、醫學研究等領域。為了提升紅外探測器的性能和可靠性,其封裝過程中
    的頭像 發表于 05-23 09:38 ?909次閱讀
    <b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測器</b>封裝秘籍:高可靠性鍵合工藝全解析

    LoRa人體活動紅外探測器的原理

    LoRa人體活動紅外探測器IDM-ET14款高可靠性的探測人體熱釋電紅外探測器,基于LoRa無線通信技術
    的頭像 發表于 05-13 09:34 ?664次閱讀
    LoRa人體活動<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測器</b>的原理

    硅基鍺PIN光電探測器研究進展綜述

    硅基光電探測器是硅基光電子中的關鍵器件,其功能是將光信號轉換為易于存儲和處理的電信號。
    的頭像 發表于 04-25 09:12 ?2344次閱讀
    硅基鍺PIN光電<b class='flag-5'>探測器</b>的<b class='flag-5'>研究進展</b><b class='flag-5'>綜述</b>

    銻化物超晶格紅外探測器研究進展與發展趨勢綜述

    銻化物超晶格紅外探測器具有均勻性好、暗電流低和量子效率較高等優點,其探測波長靈活可調,可以覆蓋短波至甚長波整個紅外譜段,是實現高均勻大面陣、長波、甚長波及雙色
    的頭像 發表于 04-19 09:13 ?1255次閱讀
    銻化物超晶格<b class='flag-5'>紅外</b><b class='flag-5'>探測器</b><b class='flag-5'>研究進展</b>與發展趨勢<b class='flag-5'>綜述</b>

    綜述:高性能銻化物中紅外半導體激光研究進展

    據麥姆斯咨詢報道,近期,由中國科學院半導體研究所和中國科學院大學組成的科研團隊受邀在《激光技術》期刊上發表了以“高性能銻化物中紅外半導體激光研究進
    的頭像 發表于 04-13 12:08 ?2121次閱讀
    <b class='flag-5'>綜述</b>:高性能銻化物中<b class='flag-5'>紅外</b>半導體激光<b class='flag-5'>器</b><b class='flag-5'>研究進展</b>
    主站蜘蛛池模板: 色综合久久久久综合99 | 日韩免费毛片 | 四虎美女| 国产福利资源 | 日韩一级片在线免费观看 | 亚洲五月婷 | 亚洲精品美女在线观看 | 日本三级黄在线观看 | 亚洲一区二区三区在线播放 | 天天干天天射天天 | 天天摸天天干 | 久久综合成人网 | 夜夜夜爽bbbb性视频 | 午夜无码国产理论在线 | 天堂资源中文在线 | 亚洲一卡二卡三卡 | 丁香六月婷婷七月激情 | baoyu污污网站入口免费 | 欧美.亚洲.日本一区二区三区 | 成人a大片高清在线观看 | 国产乱理论片在线观看理论 | 免费观看老外特级毛片 | 国产精品嫩草影院一二三区 | 国产啊v在线观看 | 女人大毛片一级毛片一 | 免费看欧美一级特黄a大片 免费看欧美一级特黄a大片一 | 狠狠色96视频| 国模私拍在线视频 | 免费在线a视频 | 久久99精品久久久久久园产越南 | 色福利在线 | 国模绪 | 人人干人 | 欧美大黄| 一卡二卡≡卡四卡亚洲高清 | 欧美性猛交xxx嘿人猛交 | 久久影视一区 | 欧美色插| 日本福利小视频 | 男人cao女人视频在线观看 | 国产亚洲美女精品久久久久狼 |