導(dǎo)讀
高精度IC制造工藝需要對產(chǎn)品進(jìn)行全方位檢測以保證工藝質(zhì)量過關(guān)。友思特 Neuro-T 通過調(diào)用平臺的流程圖功能,搭建多類深度學(xué)習(xí)模型,形成了一站式的視覺檢測解決方案。本文將為您詳述方案搭建過程與實際應(yīng)用效果。
在當(dāng)今集成電路(IC)制造領(lǐng)域,特別是對于高精度要求的工藝流程,如半導(dǎo)體芯片生產(chǎn),快速準(zhǔn)確地檢測出缺陷至關(guān)重要,也有通過OCR識別芯片印刷字符從而明確缺陷芯片型號的需求。針對IC多類別視覺檢測的需求,常規(guī)方式需要一一部署視覺檢測模型,并編程實現(xiàn)多個模型的調(diào)度和交互邏輯。
友思特 Neuro-T 機(jī)器視覺軟件,通過平臺具備的流程圖(Flowchart)功能,鏈接多個不同的深度學(xué)習(xí)模型,一站式解決同一目標(biāo)多個視覺檢測需求,并可以通過推理中心(Inference Center),模擬單/多模型部署的實際檢測效果。
友思特 Neuro-T 支持的深度學(xué)習(xí)模型類型
監(jiān)督學(xué)習(xí) | ||
分類 |
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將圖像分類成不同類別或OK/NG組別 簡單分類目標(biāo)缺陷的有無,精度高 |
實例分割 |
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分析圖像中檢測到的物體形狀并圈選 準(zhǔn)確識別并分割目標(biāo)的缺陷區(qū)域,精度最高,適合占像素點少(低至10像素點)、形狀較簡單的目標(biāo) |
目標(biāo)檢測 |
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檢測圖像中物體的類別、數(shù)量并定位 識別和定位目標(biāo)的缺陷區(qū)域,精度高,適合占像素點稍多、形狀較復(fù)雜的目標(biāo) |
OCR字符識別 |
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檢測和識別圖像中的字母、數(shù)字或符號 預(yù)置預(yù)訓(xùn)練模型,批量快速進(jìn)行數(shù)據(jù)標(biāo)注 |
旋轉(zhuǎn) |
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旋轉(zhuǎn)圖像至合適的方位 服務(wù)于其他類型的模型,提高其他模型的識別準(zhǔn)確率 |
GAN 對抗生成網(wǎng)絡(luò) |
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學(xué)習(xí)圖像中的缺陷區(qū)域并生成虛擬缺陷 人工生成目標(biāo)的缺陷圖像,彌補(bǔ)缺陷數(shù)據(jù)量不足的問題 |
無監(jiān)督學(xué)習(xí) | ||
異常 分類 |
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在大量正常圖像和少量缺陷圖像上訓(xùn)練以檢測異常圖像進(jìn)行分類 分類目標(biāo)缺陷的有無,精度高于分類模型(可設(shè)置異常閾值),主要適用于數(shù)據(jù)缺乏場景 |
異常 分割 |
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在大量正常圖像和少量缺陷圖像上訓(xùn)練以檢測異常圖像并定位缺陷位置 準(zhǔn)確識別并分割異常目標(biāo)的缺陷區(qū)域,精度略低于實例分割模型(可設(shè)置異常閾值),主要適用于數(shù)據(jù)缺乏場景 |
友思特 Neuro-T 流程圖
友思特Neuro-T的流程圖功能,在視覺項目的圖像標(biāo)注和訓(xùn)練的同時,提供直觀有效的UI組件,輔助項目流程的設(shè)計和梳理。通過鏈接多個不同的深度學(xué)習(xí)模型,平臺不僅可以對圖像中需要檢測的目標(biāo)進(jìn)行高效的聚焦和高精度的檢測,還可以同時執(zhí)行不同的視覺任務(wù),滿足用戶多樣化的視覺檢測需求。
以上圖為例,初始圖像內(nèi)容包括平板以及三塊需要檢測的PCB對象,需要檢測三塊PCB的缺陷類型。該視覺檢測項目通過鏈接三個深度學(xué)習(xí)模型完成:
旋轉(zhuǎn)模型:檢測對象進(jìn)入相機(jī)拍攝區(qū)域并不一定是同一姿態(tài),通過旋轉(zhuǎn)模型自動將圖像旋轉(zhuǎn)至合適的朝向,以利于后面的圖像檢測分割以及分類檢測。
目標(biāo)檢測模型:從圖像中檢測出需要檢測的PCB對象,并按實際檢測到的方框尺寸(也可以統(tǒng)一尺寸裁剪)來分割圖像,得到裁剪出來的三個PCB對象的圖像。
分類模型:對分割后的三個PCB對象的圖像分別通過目標(biāo)分類模型,最終確認(rèn)是屬于哪種缺陷類型(臟污、劃痕、孔洞)的PCB,并輸出和可視化結(jié)果。
友思特 Neuro-T 推理中心
友思特Neuro-T的推理中心,可以幫助用戶快速地驗證單個深度學(xué)習(xí)模型或多個深度學(xué)習(xí)模型鏈接之后的實際部署檢測效果,分別以統(tǒng)計結(jié)果和圖像檢測效果的形式呈現(xiàn)??梢圆榭锤鱾€環(huán)節(jié)的檢測效果和統(tǒng)計結(jié)果,幫助用戶改進(jìn)視覺檢測項目。最終可以分別導(dǎo)出單一的模型,自行設(shè)計模型推理邏輯,或包含多個深度學(xué)習(xí)模型以及他們之間的鏈接的單一流程圖模型,無需自行設(shè)計多個模型之間的交互邏輯,即可完成復(fù)雜的多需求的視覺檢測項目。
統(tǒng)計結(jié)果
圖像檢測效果
IC 視覺檢測方案
方案一
需求:檢測IC芯片是否有引腳缺失,檢測芯片表面字符印刷是否清晰,如清晰,進(jìn)一步檢測字符。
字符檢測
引腳缺失檢測
檢測流程
(1)導(dǎo)入圖像集,標(biāo)注,訓(xùn)練,得到圖像中IC芯片的目標(biāo)檢測模型。
(2)調(diào)用目標(biāo)檢測模型,對IC芯片目標(biāo)進(jìn)行裁剪,得到只包含目標(biāo)最小框的圖像區(qū)域的新數(shù)據(jù)集,起動態(tài)ROI的作用,排除其他內(nèi)容干擾后續(xù)檢測結(jié)果。
(3)對上述得到的新數(shù)據(jù)集標(biāo)注、訓(xùn)練,得到IC芯片的旋轉(zhuǎn)模型,并通過該模型作用于原數(shù)據(jù)集,得到新數(shù)據(jù)集,其目的是將芯片旋轉(zhuǎn)至合適朝向,便于后續(xù)檢測,提高檢測準(zhǔn)確率。
(4)對上述得到的新數(shù)據(jù)集標(biāo)注,訓(xùn)練,得到異常分類模型,將原數(shù)據(jù)集分類成“OK—字符印刷正?!焙汀癗G--字符印刷異?!眱蓚€新數(shù)據(jù)集。
(5)對于“OK”的數(shù)據(jù)集,進(jìn)一步標(biāo)注訓(xùn)練,得到OCR字符識別模型,實現(xiàn)字符檢測的效果。
(6)對于“NG”的數(shù)據(jù)集,進(jìn)一步標(biāo)注訓(xùn)練,得到實例分割模型,檢測并分割出“NG”芯片是否有引腳缺失以及引腳缺失的區(qū)域,實現(xiàn)引腳缺失檢測的效果。
方案二
需求:芯片是否引腳缺失,引腳缺失定位檢測
檢測流程
(1)導(dǎo)入圖像集。
(2)標(biāo)注,訓(xùn)練,得到圖像中IC芯片的目標(biāo)檢測模型。
(3)調(diào)用目標(biāo)檢測模型,對IC芯片目標(biāo)進(jìn)行裁剪,得到只包含目標(biāo)最小框的圖像區(qū)域的新數(shù)據(jù)集,起動態(tài)ROI的作用,排除其他內(nèi)容干擾后續(xù)檢測結(jié)果。
(4)對上述得到的新數(shù)據(jù)集只標(biāo)注有引腳缺失的區(qū)域,訓(xùn)練,得到另一個目標(biāo)檢測模型。如果圖像中有檢測到引腳缺失的區(qū)域,則標(biāo)記為NG;若無,則標(biāo)記為OK。
部署推理效果圖(結(jié)合IDS相機(jī))
友思特研發(fā)人員開發(fā)的視覺檢測軟件對接了我們的IDS相機(jī)和深度學(xué)習(xí)軟件。右邊功能區(qū)包括分類/分割/目標(biāo)檢測/流程圖等6種深度學(xué)習(xí)模型的功能切換,以及IDS相機(jī)曝光和增益參數(shù)的調(diào)整,右上區(qū)域是檢測結(jié)果圖列表,可以右鍵保存到本地或回溯檢測結(jié)果。左邊大圖是檢測結(jié)果可視化,左下角小圖是相機(jī)捕捉的原始圖像,表格顯示的是檢測目標(biāo)的相關(guān)信息,這里以置信度為例,也可以放置檢測框的坐標(biāo)/類別等信息,扇形圖顯示的是圖中檢測對象的類型占比,可以根據(jù)具體需求調(diào)整要顯示的內(nèi)容。輸出區(qū)域顯示的是程序運行的console。
友思特IC多類別視覺檢測方案
Neuro-T
Neuro-T 使用簡單的圖形用戶界面,通過自動優(yōu)化深度學(xué)習(xí)模型結(jié)構(gòu)和訓(xùn)練參數(shù)來創(chuàng)建出性能最佳的模型,無需任何深度學(xué)習(xí)經(jīng)驗,即可運行自己的深度學(xué)習(xí)項目。在系統(tǒng)中,Neuro-T 是用于訓(xùn)練模型的核心工具。
Neuro-R
Neuro-R 可實現(xiàn)無縫整合訓(xùn)練軟件創(chuàng)建的模型至支持各種環(huán)境和編程語言的運行時 API,其獨特性在于——不僅僅是簡單地傳遞模型推斷結(jié)果,還可以利用各種 API 以創(chuàng)造性的方式從多個模型生成結(jié)果,Neuro-R 是友思特缺陷檢測系統(tǒng)套裝的重要組成部分。
審核編輯 黃宇
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IC
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