自奧松電子成功推出AGP3000系列皮拉尼真空計與AGP10系列壓阻真空規以來，這兩款高品質且高性價比的產品在半導體、光伏等行業迅速嶄露頭角，憑借其卓越的性能和廣泛的應用場景，成功滿足了真空測量領域的多樣化需求，成為了國產替代的理想選擇，贏得了客戶們的廣泛贊譽。

如今，奧松電子再次憑借其在真空測量技術領域的深厚積累，推出了AGP21系列電容薄膜真空規，這款產品不僅繼承了前兩款的優點，進一步提升了測量精度和性能，同時優化了用戶體驗，使其更加便捷易用。

1產品介紹

AGP21 系列是高精度電容式薄膜真空規，具有精度高、響應時間快等特點，滿足當今關鍵工藝控制的應用需求，可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。產品配備了標準的 KF16 壓力接口，可根據需要選配不同的轉接件，確保與各種設備和系統的無縫對接。

2產品特點

? 高精度真空測量：±0.3%讀數

?性能長期穩定可靠

?卓越的抗腐蝕性能：觸氣處選用INCONEL高溫耐蝕合金，其具有抗腐蝕、抗蠕變、高穩定性等特點。

?標準Modbus RTU通信

?TFT-LCD彩屏顯示

?支持 Pa、Torr、mbar 三個常用單位的切換

?配備了標準的 KF16 壓力接口：其材質為316L不銹鋼，表面采用電拋光處理工藝，能夠實現高真空密封要求，具有安裝便捷、拆卸方便、接頭不易變形等特點。

?提供靈活多樣的連接方案：還可以選配KF16轉其它接頭的轉接件，確保能夠輕松適應不同設備、不同系統的連接需求。

3產品參數

4應用場景

AGP21系列應用于半導體、光伏、石化、真空滅菌、真空包裝、真空干燥等行業，尤其適用于對低真空壓力測量要求至關重要的工藝過程，比如PECVD/ALD鍍膜工藝、等離子體刻蝕等工藝。