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石墨舟氮氣柜:半導體制造中的關鍵保護設備

沐渥科技 ? 2024-11-04 16:40 ? 次閱讀

石墨舟是一種由高純度石墨材料制成的設備,廣泛應用于半導體器件、太陽能電池片等的制造過程中,用于承載硅片或其他基板材料通過高溫處理。石墨舟因其優異的導電性和熱穩定性而成為這一領域的理想選擇。然而,石墨舟對環境條件十分敏感,特別是對空氣中的氧氣和濕氣。

存放條件的重要性
防氧化:石墨舟在空氣中容易與氧氣發生反應,尤其在高溫處理后更加敏感。長期暴露于空氣中會導致石墨舟表面性質改變,影響其使用性能。
防潮:石墨舟具有一定的吸附性,在潮濕環境中會吸收水分,進而影響其性能。
防污染:存放環境應保持潔凈,避免灰塵或污染物的積累,以免影響石墨舟的純凈度。
防紫外線:避免石墨舟直接暴露在陽光下,因為紫外線可能對石墨材料造成損害。

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石墨舟氮氣柜的特點與功能
防氧化保護:通過充入氮氣來降低柜內氧氣濃度,有效防止石墨舟表面氧化。
防潮防濕:創造一個干燥的環境,避免濕氣對石墨舟的影響。
精確控制氣體環境:配備精確的氮氣流量控制和監測系統,可調節和監控柜內氮氣濃度、濕度、氧氣含量等參數
高質量密封材料:采用高質量的密封材料,提高柜門、接口等部位的密封性,減少氮氣泄漏。
耐腐蝕、耐高溫材料制造:通常使用不銹鋼材質,具備良好的耐腐蝕性能、高強度、易于清潔和維護。
智能化操作:配有智能化控制系統,支持觸摸屏或電子鍵盤操作,提供氮氣濃度調節、溫濕度監測、報警提示等功能。
安全保護:具備安全保護功能,有效預防事故和物料泄漏。

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使用注意事項
輕拿輕放:石墨舟較為脆弱,應避免摔落和碰撞。
清潔烘干:存放前需清潔并烘干石墨舟,去除表面的氧化層和污垢。
石墨舟氮氣柜是確保石墨舟性能和使用壽命的關鍵設備,尤其在半導體、太陽能光伏、LED、電子、化工等行業中,它對于保護材料或產品免受潮濕、氧化和污染具有重要作用。石墨舟氮氣柜的設計和制造遵循嚴格標準,確保其在高科技制造業中的耐用性、清潔度及安全性,對提高生產效率和產品質量至關重要

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