IMD4工藝是什么意思
IMD4 工藝是形成 TMV （Top Metal VIA，頂層金屬通孔）的介質(zhì)隔離材料，同時(shí)IMD4 會(huì)隔離第三層金屬和頂層 AL金屬。IMD4 的材料也是 USG 和SiON材料。
1）淀積 SiCN 刻蝕停止層。利用 PECVD 淀積一層厚度約為 600A 的 SiCN,SiCN 作為刻蝕停止層和 M3的覆蓋層，SiCN 可以防止Cu 擴(kuò)散。這樣 Ta/TaN 和 SiCN 就形成一個(gè)容器包裹著Cu，防止Cu 向外擴(kuò)散。圖4-283 所示為淀積SiCN 的剖面圖。
2）淀積 USG。通過(guò) PECVD 淀積一層厚度約為3000A的 USG。淀積的方式是利用 TEOS在400°C發(fā)生分解反應(yīng)形成二氧化硅淀積層。
3）淀積SiON。利用 PECVD 淀積一層厚度約300A的SiON層，利用硅烷（SiH4）、一氧化二氮（N2O）和He 在400°C的溫度下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成 SiON 淀積。圖4-284所示為淀積SiON 的剖面圖。
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原文標(biāo)題：IMD4 工藝-----《集成電路制造工藝與工程應(yīng)用》 溫德通 編著
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