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氬離子拋光在電鏡樣品制備中的優(yōu)勢(shì):超越FIB的大面積處理能力

金鑒實(shí)驗(yàn)室 ? 2024-12-04 12:39 ? 次閱讀

氬離子拋光技術(shù)概述

氬離子拋光技術(shù)是一種先進(jìn)的樣品制備方法,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)和微觀分析領(lǐng)域。該技術(shù)通過(guò)使用惰性氣體氬的離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行精確的切割和拋光,以獲得高質(zhì)量的樣品表面,從而便于進(jìn)行后續(xù)的電子顯微鏡成像、能譜分析、電子背散射衍射、光致發(fā)光等高級(jí)分析。

氬離子切割技術(shù)原理

氬離子切割技術(shù)的核心在于其寬離子束的應(yīng)用,這種離子束通常寬度約為1毫米,能夠精確地切割樣品,從而暴露出需要分析的區(qū)域。在切割過(guò)程中,一個(gè)堅(jiān)固的擋板被用來(lái)保護(hù)樣品的非目標(biāo)區(qū)域,防止離子束對(duì)其造成損傷。這種側(cè)切割方法能夠有效地去除樣品表面的一層薄膜,為后續(xù)分析提供了一個(gè)清潔的表面。

氬離子拋光的優(yōu)勢(shì)

氬離子拋光技術(shù)的主要優(yōu)勢(shì)在于其能夠去除樣品表面的損傷層,這對(duì)于獲得高質(zhì)量的電子顯微鏡圖像至關(guān)重要。

在掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、光鏡或掃描探針顯微鏡(SPM)等設(shè)備上進(jìn)行成像和分析時(shí),樣品表面的損傷層會(huì)影響分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。通過(guò)氬離子拋光,可以確保樣品表面的清潔和平整,從而提高分析結(jié)果的可靠性。

實(shí)際應(yīng)用案例

在實(shí)際應(yīng)用中,氬離子拋光技術(shù)已經(jīng)被用于多種材料的分析。例如,金屬銀在經(jīng)過(guò)氬離子拋光后,其SEM晶格圖能夠清晰地展示出金屬銀的微觀結(jié)構(gòu)。

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金屬銀在氬離子拋光后的SEM晶格圖


線路板盲孔觀察

氬離子拋光技術(shù)也適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)的觀察,如線路板盲孔的觀察。通過(guò)氬離子拋光,可以清晰地觀察到線路板盲孔的內(nèi)部結(jié)構(gòu),這對(duì)于線路板的質(zhì)量和可靠性分析至關(guān)重要。

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鋰電池材料研究

在鋰電池材料的研究中,氬離子拋光技術(shù)同樣發(fā)揮著重要作用。通過(guò)氬離子拋光截面制樣,可以觀察到鋰電池正負(fù)電極材料極片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這對(duì)于評(píng)估鋰電池材料的吸液性和循環(huán)壽命具有重要意義。例如,通過(guò)觀察鋰電池極片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和孔隙度,可以判斷其吸液性,進(jìn)而預(yù)測(cè)電池的循環(huán)壽命。

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結(jié)論

總之,氬離子拋光技術(shù)是一種高效的樣品制備方法,它能夠?yàn)殡娮语@微鏡和其他高級(jí)分析設(shè)備提供高質(zhì)量的樣品表面。

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