射頻電源，是可以產生固定頻率的正弦波，具有一定頻率的高頻電源，主要由射頻信號源、射頻功率放大器及阻抗匹配器組成。目前射頻電源被廣泛應用于半導體工藝設備、LED與太陽能光伏行業、科學研究、射頻感應加熱、無線通信、醫療美容及常壓等離子體消毒清洗等領域。

匹配器，射頻自動匹配器主要用于將等離子體腔體的阻抗匹配成便于射頻電源輸出最大功率的阻抗,減小輸入信號的反射損耗。

射頻電源的基本組成，包括信號發生部分、功率放大部分、阻抗匹配部分、信號檢測部分和控制部分等。

信號發生，包括直流供電電源模塊+振蕩電路模塊，作用為供電和發出信號源。

功率放大，是射頻電源的核心部件其作用是將低頻電源的電能轉換為高頻電能。

阻抗匹配，則用于調節輸出阻抗，使其與負載阻抗相匹配，從而提高輸出功率和效率。

信號檢測，用于檢測射頻電源負載的電壓電流信號，并傳輸給控制電路。

控制電路，用于控制功率放大器的工作狀態，保證其定可靠地工作。

6KW射頻電源

射頻電源是等離子體設備的能量驅動源，主要應用于射頻濺射、等離子體化學氣相沉積(PECVD) 、等離子體鍍膜、清洗、刻蝕等制造行業。由射頻信號發生器、功率放大器、VI 檢測單元以及核心處理器等部分組成。

產品特點：

先進高效率、高穩定性射頻功放技術

全數字控制，高穩定度和高可靠性

輸出功率余量大，可長期穩定工作

具有精確的測量功能，包括輸出功率、反射功率和負載阻抗

具有自動增益控制功能，能精確的控制輸出功率

支持本地控制、IO控制和遠程控制，遠程控制采用RS485和RJ45網口

采用先進的功放技術，輸出功率可從最小輸出功率至最大額定輸出功率連續可調

德芯科技射頻電源具有高精度、高可靠，偏壓監測，帶滅弧功能等

完善的保護功能：過荷、過流、過溫等保護

輸出頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz(可選）

輸出功率：300W、600W、1KW、1.5KW、3KW、6KW、12KW、20KW(可選，可定制）

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審核編輯 黃宇