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助力晶圓制造設備供應商攻克仿真挑戰

品英儀器 ? 來源:品英儀器 ? 2025-02-17 10:15 ? 次閱讀

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應用

最終用戶是一家為半導體行業提供創新晶圓制造設備和服務的全球供應商。設計團隊在設計一種可應用于一系列設備的新型控制系統時,傾向于使用成熟部件構建基于PXI平臺的系統。要求該部件具有卓越的性能,但體積更小,隱藏的成本更低。但由于新冠肺炎疫情,團隊成員處于半隔離狀態。

該公司的測試開發團隊為半導體制造中使用的極端危險氣體和等離子體的控制系統提供解決方案。由于所涉及物質的性質,該公司對控制系統中的所有控制信號都進行100%的測試。這個最新的項目需要一個大規模的自動化測試機器來支持熱電偶仿真。這個復雜的設備涉及許多不同的溫度傳感器

該公司此前一直在使用第三方設計制造的體積龐大的PXI測試系統,其中包含了測試系統公司提供的定制計算機系統。該系統占用了相當于一臺示波器大小的機柜空間,并且依賴昂貴的專有軟件。測試團隊開始尋找一種熱電偶仿真模塊,該模塊可以與現有的PXI背板一起使用,然后將該系統連接到一臺現有的標準計算機上,這臺計算機的性能比現有解決方案更高。

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解決方案

該測試設計團隊通過網絡搜索了解到英國Pickering Interfaces公司。該公司是為PXI、LXI和PCI應用設計、生產模塊化信號開關和仿真產品的全球生產商。受高通道數的吸引,測試團隊購買了41-760系列PXI熱電偶仿真器模塊。該模塊有32、24、16或8個通道可供選擇,每個通道通過兩個連接器引腳提供低壓輸出,能夠提供±20mV (0.7μV分辨率),±50mV (1.7μV分辨率)和±100mV (3.3μV分辨率)的低壓,涵蓋大多數熱電偶類型。

這些熱電偶仿真器使用帶有遠程探測線的雙線輸出,以確保即使系統有共模電壓存在,仿真模塊也可以提供準確的微小電壓。此外,每個仿真通道都可設置為開路,以模擬傳感器的錯誤線路連接。為了提高精度,低壓源的每個通道都攜帶準確的校準數據。該模塊還包括用于模塊自檢測和驗證目的的校準多路復用器

然而,問題出現了。每次該團隊將仿真模塊連接到設備上時,讀數都是雜亂無章的。經過進一步研究后,他們才意識到熱電偶所使用的前端IC的模擬特性并沒有在數據表中提供。事實上,共模抑制比(CMRR)非常差。如果數據表包括了這一信息,該團隊就會立即知道仿真器模塊需要一個隔離輸出。

測試工程師聯系了英國Pickering Interfaces公司在當地的支持團隊,證實Pickering Interfaces公司還可以提供一個通道隔離版本的仿真模塊——41-761系列。該團隊將模塊與控制設備連接起來,就有了“堅如磐石的輸出,沒有抖動”。

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英國Pickering Interfaces公司提供的服務

測試團隊還購買了Pickering的6槽系列60-106 LXI/USB機箱,USB和LAN連接都在背面。然后COVID-19開始襲來……Pickering的支持團隊克服了諸多不便,最終向用戶交付了帶有最新軟件的新的隔離通道版本產品。

英國Pickering公司已有超過35年的行業經驗,并旨在永遠為客戶提供高水平的服務。即使在新冠疫情期間,英國Pickering公司仍然能夠在滿足安全準則的情況下提供幫助。

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PXI仿真的好處

該測試系統由半導體設備制造商的控制系統團隊設計,將用于設計階段的制備和鑒定。他們認為,便攜式測試儀可能會因為電池耗盡而不穩定。此外,這些測試儀不能實現自動化。在生產測試中,如果只有一個單通道電池操作的熱電偶仿真器,那測試操作員就需要手動將仿真器從一對引腳移動到另一對。而使用基于Pickering 41-761系列熱電偶仿真模塊的PXI系統,就能將這一過程自動化,從而節省大約30分鐘/單元的人工測試。自動化還消除了手動錯誤,增加了測試的可靠性。

細節對測試團隊來說是真正有益的,諸如Pickering產品的軟面板界面。這使他們不用編寫任何代碼就能夠開始評估過程。面板還具有繼電器開關的可視化圖形,當你觸摸它們時就可以切換開關狀態。

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結語

最終,正是產品規格、性能和服務的結合,讓客戶相信英國Pickering公司是真正在與他們合作,而不僅僅是在售賣產品。

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原文標題:成功案例 | 為晶圓制造設備供應商解決仿真難題

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