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SC2020半導體器件測試系統 晶體管參數檢測設備技術解析

黃輝 ? 來源:jf_81801083 ? 作者:jf_81801083 ? 2025-03-13 11:02 ? 次閱讀
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一、產品定位:高精度半導體測試解決方案

SC2020晶體管測試系統是專為二極管、三極管、IGBTMOSFET等?半導體分立器件?設計的?電學參數測試設備?,集成實驗室級測量精度(±0.1%)與工業級測試效率(10,000UPH)。系統通過?GJB128軍標認證?,適用于元器件生產企業的?晶圓中測/封裝成測?、科研院所的?失效分析?以及電子制造企業的?IQC來料檢驗?。

二、SC2020系統五大核心優勢解析

1. 多量程精密測試架構

?寬范圍電源系統?:2000V高壓源(±0.5%)/500A大電流源(±1%)協同工作

?納米級測量精度?:16位ADC模組實現1.5pA漏電流檢測,四線開爾文連接消除接觸電阻

?智能溫漂補償?:環境溫度波動影響<0.005%/℃

2. 自動化測試能力

?設備擴展接口?:標配Prober/Hander接口(16Bin分類),兼容Cohu/TEL等主流?分選機?

?智能分揀系統?:支持掃碼槍數據綁定,實現DMC全流程追溯

?測試效率提升?:聯動機械手工作站的測試周期≤0.3秒/器件

3. 軍工級可靠性設計

?EMC防護體系?:通過IEC61340-3-1靜電防護標準

?強化散熱結構?:連續測試溫升<15℃(@40A滿載)

?三防處理工藝?:適應濕度85%RH無凝露環境

4. 智能軟件平臺

?LabVIEW可視化系統?:支持參數分檔模板導入/導出(Excel兼容)

?實時SPC監控?:自動生成CPK過程能力分析報告

?故障自診斷系統?:81類異常狀態代碼實時提示

5. 模塊化擴展配置

?動態參數模塊?:擴展Ciss/Coss/Crss等?電容測試?

?高低溫測試套件?:支持-55℃~175℃溫控腔體接入

?汽車電子套件?:符合AEC-Q101認證測試流程

三、技術參數對比表(關鍵指標)

功能模塊 量程范圍 分辨率 精度
高壓源(HVS) ±2000V 1mV ±0.5%FS
大電流源(HIS) ±500A 1μA ±1%FS
柵極驅動 40V/100mA 0.1mV ±0.2%FS
結電容測試 5pF-100nF 0.01pF ±1%+5pF

四、典型測試場景應用

1. 功率器件量產測試

?IGBT模塊?:BVCES/VCE(sat)/開關損耗曲線

?MOSFET?:RDS(on)/Qg/Coss非線性特性

?碳化硅器件?:雙脈沖測試配套方案

2. 質量控制體系

?來料檢驗?:AQL 0.1抽檢標準實施

?失效分析?:ESD/EOS損傷定位檢測

?可靠性驗證?:HTRB/H3TRB試驗監控

3. 研發驗證平臺

器件參數配對篩選(Vth±2%分組)

溫度特性曲線掃描(-55℃~175℃)

雪崩能量測試(EAS≥5mJ)

五、行業方案及常見問題

行業解決方案

?汽車電子?:滿足ISO16750電源芯片測試需求

?光伏逆變器?:IGBT模塊動態特性評估

?工業電源?:SR MOSFET體二極管恢復測試

常見問題

Q: SC2020測試系統如何選型?
A: 根據測試電流(>100A需選配擴流板)、電壓等級(>1400V選高壓套件)、分類需求(>8Bin需擴展接口)

Q: 是否支持Ciss/Coss參數測試?
A: 需選配型號SC2020-CAP模塊(帶寬20MHz,精度±3%)

審核編輯 黃宇

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