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ADXRS290用于穩定應用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術手冊

要長高 ? 2025-05-07 11:35 ? 次閱讀

概述
ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動(層內雙軸)角速率傳感器陀螺儀),設計用于穩定應用。

ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能,靈敏度為200 LSB/°/s,其諧振磁盤傳感器結構可實現圍繞封裝側層內軸垂直轉動的角速率測量。 角速率數據為16位二進制補碼格式,可通過SPI數字接口訪問。 ADXRS290具有0.004°/s/√Hz低噪底特性,集成可編程高通和低通濾波器

ADXRS290提供4.5 mm × 5.8 mm × 1.2 mm、18引腳空腔層壓封裝。
數據表:*附件:ADXRS290用于穩定應用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術手冊.pdf

應用

  • 光學圖像穩定
  • 平臺穩定
  • 佩戴式產品

特性

  • 俯仰和滾動速率陀螺儀
  • 超低噪聲:0.004°/s/√Hz
  • 可在寬頻率范圍內提供高振動抑制特性
  • 節能待機模式
    待機模式下功耗為80 μA
    從待機模式啟動時間短:<100 ms
  • 低延遲:<0.5 ms(最寬帶寬設置下的30 Hz輸入)
  • 串行外設接口(SPI)數字輸出
  • 可編程高通和低通濾波器
  • 抗加速度能力:2000 g
  • 工作電壓:2.7 V至5.0 V
  • 工作溫度:-25°C至+85°C
  • 4.5 mm × 5.8 mm × 1.2 mm空腔層壓封裝

框圖
image.png

引腳配置描述
image.png

典型性能特征
image.png

工作原理

ADXRS290旨在感測x軸和y軸的滾動(roll)和俯仰(pitch)角速率。ADXRS290基于振動速率陀螺儀原理工作。圖23展示了四個耦合多晶硅傳感結構中其中一個的簡化示意圖。每個傳感結構包含一個通過靜電驅動至諧振狀態的諧振盤,該諧振盤在受到角速率作用時,會產生必要的旋轉速度分量,以生成科里奧利力轉矩。image.png

當傳感結構受到角速率作用時,產生的科里奧利力轉矩會使每個圓盤發生傾斜運動,這種運動由圓盤下方的極板進行檢測。圓盤和極板構成一個電容式拾取結構,用于感測角速率。產生的信號會傳輸至增益和同步解調級,以產生電角速率輸出。該傳感器的設計能夠抑制線性和角加速度,因為外部重力加速度(g - force)會以共模信號的形式出現,并通過ADXRS290的全差分架構予以去除。

諧振器在工作時通常需要31V(典型值)的電壓。由于大多數應用僅提供5V電壓,所以芯片內置了一個開關穩壓器。為使電荷泵電路正常工作,需要一個額定電壓為50V的外部1μF電容。

經過同步解調和模數轉換后,速率信號會通過一個單極點帶通濾波器進行濾波。該濾波器的高通和低通極點可通過數字接口進行編程設置。

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