半導體制造是當今科技產業中精度要求高、工藝復雜的領域之一。隨著芯片制程不斷邁向3nm甚至更小節點，晶圓厚度、表面平整度、微結構尺寸等參數的檢測精度直接決定了芯片的良率和性能。在這一背景下，激光位移傳感器憑借其非接觸、更高精度、更快響應速度、更強穩定性等特性，成為半導體制造全流程中不可或缺的精密“測量之眼”。

晶圓作為半導體器件制造的核心載體，其生產過程對精度和可靠性的要求達到了極致。在晶圓制造的諸多環節中，精確的位移測量至關重要，它直接影響著最終芯片的性能和良率。而作為作為中國工業傳感領域的創新先鋒，蘭寶傳感推出的 PDE系列激光位移傳感器 ，憑借其微 米級分辨率、智能化算法與工業級可靠性 ，已成為晶圓制造過程中首要選擇。

晶圓制造的精度挑戰與激光位移傳感器的優勢

晶圓制造涉及光刻、刻蝕、薄膜沉積、鍵合等一系列復雜工藝，每一道工序都對微米甚至納米級的精度有著嚴苛的要求。如，在光刻環節，需要精確定位掩膜版與晶圓的位置，以確保電路圖案能夠準確地轉移到晶圓表面；在薄膜沉積過程中，需要精確控制薄膜的厚度，以保證器件的電氣性能。任何微小的偏差都可能導致產品缺陷，甚至整批晶圓的報廢。

傳統的機械式測量方法在面對這些高精度需求時往往顯得力不從心。并且可能對脆弱的晶圓表面造成損傷或污染，同時響應速度過慢，難以滿足高精密的測量需求。

蘭寶PDE系列激光位移傳感器-晶圓應用領域的選擇：

激光****測量： 利用激光束照射目標表面，通過分析反射或散射的激光信號來獲取位移信息，避免了與晶圓的直接接觸，消除了潛在的機械損傷和污染風險，尤其適用于對潔凈度要求極高的半導體制造環境。

高精度和高分辨率： 先進的激光技術和信號處理算法使得激光位移傳感器能夠實現微米級別的測量精度和分辨率，滿足晶圓制造工藝對精度的嚴苛要求。

快速響應： <10ms的響應速度，能夠快速的有效地監控生產過程中的動態變化，及時發現和糾正偏差，提高生產效率。

適用范圍廣： PDE系列激光位移傳感器可以測量各種材質和表面的物體，并且對環境的適應性較強，能夠在不同的工藝環節中發揮作用。

小巧精致： PDE系列激光位移傳感器體積小巧，易于集成到各種自動化設備和控制系統中，實現生產過程的自動化監控和反饋調節。

PDE系列激光位移傳感器在晶圓中的應用場景：

憑借其卓越的性能，PDE系列激光位移傳感器在晶圓制造的多個關鍵環節中發揮著至關重要的作用：

晶圓定位與對準： 在光刻、鍵合等工藝中，需要精確地定位和對準晶圓。激光位移傳感器可以精確測量晶圓的位置和角度，確保掩膜版、鍵合臂等設備與晶圓的精確對齊，提高圖案轉移和鍵合的精度。

晶圓厚度測量： 精確測量晶圓的厚度是控制薄膜沉積質量的關鍵。激光位移傳感器可以非接觸式地測量晶圓的厚度，并實時監控厚度變化。

晶圓平坦度檢測： 晶圓的平坦度直接影響后續工藝的質量。激光位移傳感器可以精確測量其平坦度，識別翹曲或變形的晶圓，從而避免不良品進入后續流程。

薄膜厚度測量： 在薄膜沉積過程中，激光位移傳感器可以實時監測薄膜的生長厚度，實現對薄膜厚度的精確控制，保證器件的電氣性能。

晶圓缺陷檢測： 通過高精度的位移測量，激光位移傳感器可以幫助識別晶圓表面的微小缺陷，如劃痕、顆粒等，從而提高缺陷檢測的靈敏度和準確性。

設備狀態監控： 激光位移傳感器還可以用于監控生產設備的關鍵部件的位移和振動，例如機械臂的定位精度、設備的運行穩定性等，有助于設備的維護和故障預警。

在半導體國產化浪潮與智能制造的共振下，蘭寶傳感PDE系列激光位移傳感器不僅填補了國內高端工業傳感器的技術空白，更以卓越性能重新定義行業標桿。無論是提升良率、降低成本，還是加速新工藝研發，PDE系列都將成為您征戰半導體精密制造的“終極武器”。

審核編輯 黃宇