液晶驅(qū)動(dòng)線路作為液晶顯示設(shè)備的核心組件，承擔(dān)著為液晶面板提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)、控制像素顯示狀態(tài)的關(guān)鍵任務(wù)。其性能直接影響顯示畫面的質(zhì)量與穩(wěn)定性。然而，在生產(chǎn)制造及長(zhǎng)期使用過(guò)程中，液晶驅(qū)動(dòng)線路易出現(xiàn)各類故障，因此，研究高效的激光修復(fù)方法對(duì)保障液晶顯示設(shè)備的質(zhì)量與生產(chǎn)效率具有重要意義。

液晶驅(qū)動(dòng)線路的工作原理與結(jié)構(gòu)

液晶驅(qū)動(dòng)線路主要由柵極驅(qū)動(dòng)電路、源極驅(qū)動(dòng)電路和控制電路組成。柵極驅(qū)動(dòng)電路負(fù)責(zé)逐行掃描液晶面板的柵極，使像素點(diǎn)依次選通；源極驅(qū)動(dòng)電路則根據(jù)圖像數(shù)據(jù)，向選通的像素點(diǎn)提供相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電壓，控制液晶分子的偏轉(zhuǎn)角度，從而實(shí)現(xiàn)不同灰度和色彩的顯示；控制電路協(xié)調(diào)柵極和源極驅(qū)動(dòng)電路的工作，確保信號(hào)的準(zhǔn)確傳輸與時(shí)序同步。這些電路通過(guò)精密布線集成于液晶面板或周邊電路板上，其復(fù)雜的結(jié)構(gòu)與精細(xì)的工藝要求，使得線路在面臨制造誤差、外力作用或環(huán)境因素影響時(shí)易出現(xiàn)故障 。

液晶驅(qū)動(dòng)線路常見(jiàn)故障類型

斷路故障

斷路故障是液晶驅(qū)動(dòng)線路的常見(jiàn)問(wèn)題，多由制造過(guò)程中的光刻工藝偏差、金屬導(dǎo)線沉積不均勻，或是使用過(guò)程中的機(jī)械彎折、熱應(yīng)力等因素導(dǎo)致。斷路會(huì)阻斷驅(qū)動(dòng)信號(hào)的傳輸路徑，使對(duì)應(yīng)像素?zé)o法正常工作，在液晶面板上表現(xiàn)為固定的亮線、暗線或局部顯示異常區(qū)域。

短路故障

短路故障通常源于絕緣層破損、異物污染，或是制造過(guò)程中線路間的材料堆積。不同線路間的短路會(huì)改變信號(hào)的傳輸特性，造成信號(hào)串?dāng)_，引發(fā)液晶面板出現(xiàn)花屏、圖像錯(cuò)亂、局部閃爍等顯示問(wèn)題。嚴(yán)重時(shí)，短路還會(huì)導(dǎo)致電流過(guò)大，損壞電路元件。

信號(hào)傳輸異常

除線路物理?yè)p壞外，驅(qū)動(dòng)線路的信號(hào)傳輸異常也較為常見(jiàn)。這可能是由于接口連接不良、電路元件性能衰退、電磁干擾等因素引起，導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)信號(hào)的波形畸變、電平偏移或時(shí)序錯(cuò)亂，進(jìn)而影響液晶面板的顯示效果，出現(xiàn)畫面模糊、色彩失真等現(xiàn)象。

液晶驅(qū)動(dòng)線路激光修復(fù)方法

斷路激光修復(fù)

針對(duì)斷路故障，激光修復(fù)技術(shù)利用高能量激光束的熱效應(yīng)實(shí)現(xiàn)線路修復(fù)。通過(guò)高精度顯微鏡與圖像識(shí)別系統(tǒng)精準(zhǔn)定位斷路位置，將激光束聚焦于斷路處，瞬間熔化斷路點(diǎn)的金屬材料。冷卻凝固后，金屬重新連接形成導(dǎo)電通路，恢復(fù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的傳輸。修復(fù)過(guò)程中，需精確控制激光的功率、脈沖寬度和掃描速度，避免對(duì)周邊線路造成損傷。

短路激光修復(fù)

對(duì)于短路故障，激光修復(fù)機(jī)在確定短路點(diǎn)后，利用激光的高能量密度，將短路區(qū)域的多余導(dǎo)電物質(zhì)蒸發(fā)或氣化，消除短路點(diǎn)，恢復(fù)線路間的絕緣性能。通過(guò)調(diào)整激光的波長(zhǎng)、光斑大小和能量分布，可實(shí)現(xiàn)對(duì)微小短路區(qū)域的精確修復(fù)，有效解決因短路引發(fā)的信號(hào)傳輸異常問(wèn)題。

信號(hào)傳輸異常修復(fù)

當(dāng)出現(xiàn)信號(hào)傳輸異常時(shí)，若判斷為線路局部電阻或電容異常導(dǎo)致，可通過(guò)激光微調(diào)技術(shù)進(jìn)行修復(fù)。利用激光的高能量對(duì)線路局部進(jìn)行處理，改變線路的電阻、電容值，優(yōu)化信號(hào)傳輸特性；若因電磁干擾引起，可利用激光在合適位置加工屏蔽結(jié)構(gòu)，減少干擾對(duì)信號(hào)傳輸?shù)挠绊?。

高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)

高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)以光學(xué)相干層析成像原理，可解決晶圓/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，總厚度偏差）、BOW（彎曲度）、WARP（翹曲度），TIR（Total Indicated Reading 總指示讀數(shù)，STIR（Site Total Indicated Reading 局部總指示讀數(shù)），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等這類技術(shù)指標(biāo)。

高通量晶圓測(cè)厚系統(tǒng)，全新采用的第三代可調(diào)諧掃頻激光技術(shù)，相比傳統(tǒng)上下雙探頭對(duì)射掃描方式；可一次性測(cè)量所有平面度及厚度參數(shù)。

1，靈活適用更復(fù)雜的材料，從輕摻到重?fù)?P 型硅 (P++)，碳化硅，藍(lán)寶石，玻璃，鈮酸鋰等晶圓材料。

重?fù)叫凸瑁◤?qiáng)吸收晶圓的前后表面探測(cè)）

粗糙的晶圓表面，（點(diǎn)掃描的第三代掃頻激光，相比靠光譜探測(cè)方案，不易受到光譜中相鄰單位的串?dāng)_噪聲影響，因而對(duì)測(cè)量粗糙表面晶圓）

低反射的碳化硅(SiC)和鈮酸鋰(LiNbO3)；（通過(guò)對(duì)偏振效應(yīng)的補(bǔ)償，加強(qiáng)對(duì)低反射晶圓表面測(cè)量的信噪比）

絕緣體上硅（SOI)和MEMS，可同時(shí)測(cè)量多 層 結(jié) 構(gòu)，厚 度 可 從μm級(jí)到數(shù)百μm 級(jí)不等。

可用于測(cè)量各類薄膜厚度，厚度最薄可低至 4 μm ，精度可達(dá)1nm。

可調(diào)諧掃頻激光的“溫漂”處理能力，體現(xiàn)在極端工作環(huán)境中抗干擾能力強(qiáng)，充分提高重復(fù)性測(cè)量能力。

4，采用第三代高速掃頻可調(diào)諧激光器，一改過(guò)去傳統(tǒng)SLD寬頻低相干光源的干涉模式，解決了由于相干長(zhǎng)度短，而重度依賴“主動(dòng)式減震平臺(tái)”的情況。卓越的抗干擾，實(shí)現(xiàn)小型化設(shè)計(jì)，同時(shí)也可兼容匹配EFEM系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線自動(dòng)化集成測(cè)量。

5，靈活的運(yùn)動(dòng)控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圓片測(cè)量。

審核編輯 黃宇