半導(dǎo)體無(wú)塵車間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)與施工要求-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，為了保證硅片及芯片等元件的清潔度，達(dá)到國(guó)際化的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)，需要完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵車間潔凈室，而從無(wú)塵車間的等級(jí)到使用范圍再到具體的客戶要求，生產(chǎn)加工的每個(gè)無(wú)塵車間都有差異。如墻壁、天花板、風(fēng)淋室、通風(fēng)、照明設(shè)備以及裝飾材料等潔凈室的結(jié)構(gòu)要素都需要詳細(xì)的規(guī)劃。今天江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司就給大家講一下半導(dǎo)體無(wú)塵車間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)和施工要求吧!

一、半導(dǎo)體無(wú)塵車間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)

潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類無(wú)塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

半導(dǎo)體工作環(huán)境中指定的氣體清潔度水平取決于半導(dǎo)體的處理速度。不同的技術(shù)氣體清潔水平取決于環(huán)境污染的機(jī)會(huì)和組件的潛在常見斷層。

例如，無(wú)塵車間在半導(dǎo)體制造的光學(xué)技術(shù)鏈路中，單晶硅晶片暴露于自然的生產(chǎn)中。當(dāng)環(huán)境污染的可能性很高時(shí)，零件的廢物速率將相對(duì)較高。類損壞，目前在超大綜合電路芯片的工業(yè)工廠中選擇微環(huán)境，以清理，保護(hù)生產(chǎn)過程中心城市，并在微環(huán)境危害中達(dá)到氣體清潔度和環(huán)境控制要求。在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-4中，B(參考)引入了“微電子技術(shù)純化室示例”。

無(wú)塵車間桌子上辦公區(qū)域的公共生產(chǎn)和加工的核心區(qū)域是一個(gè)人和/或自我溶解設(shè)備生產(chǎn)半導(dǎo)體的區(qū)域。為了確保工作的區(qū)域區(qū)域沒有環(huán)境污染，通常會(huì)選擇一個(gè)道路流或微環(huán)境來保護(hù)人和暴露的商品。公共設(shè)施區(qū)域是插座的一部分，沒有設(shè)置半導(dǎo)體生產(chǎn)線的操作員。該區(qū)域的運(yùn)作通常不暴露于自然的生產(chǎn)。辦公區(qū)通常靠近公共設(shè)施。高速服務(wù)區(qū)域是沒有產(chǎn)品和生產(chǎn)線設(shè)備的區(qū)域，通常靠近工作區(qū)和公共設(shè)施區(qū)域。

①在實(shí)施最佳的設(shè)計(jì)條件之前，應(yīng)詳細(xì)說明ISO擁有的水平。

②表面層中的旋風(fēng)類型表示純化室的氣體特性：u=一個(gè)-路流;n，非一條路流;M=混合流形式(U和N的混合物)。

③平均旋風(fēng)速率通常適用于房間中的單向流。單側(cè)旋風(fēng)速度需要在測(cè)量區(qū)域的形狀下加熱的溫度。單側(cè)流速不指濁度的正風(fēng)。

④非邊緣流量和混合流量在一小時(shí)內(nèi)使用自然通風(fēng)的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無(wú)塵房間的系數(shù)排放空氣量建議值。

⑤注意嚴(yán)格的密封對(duì)策。

⑥硒或旋風(fēng)天然屏障適用于合理的污染物分離和治療自然保護(hù)區(qū)。

二、半導(dǎo)體無(wú)塵車間施工要求

半導(dǎo)體生產(chǎn)無(wú)塵車間潔凈室、集成電路無(wú)塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。

2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。

3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

4、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值。

5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6、保證供給無(wú)塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置