在介紹新的MEMS加速度傳感器之前，首先了解下MEMS這個(gè)概念，MEMS的全稱(chēng)是Micro-Electro-Mechanical System，中文叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械，其主要由傳感器、動(dòng)作器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。因其尺寸在幾毫米乃至更小，在消費(fèi)電子產(chǎn)業(yè)廣泛應(yīng)用，比如蘋(píng)果手機(jī)、無(wú)人機(jī)，都可以看到MEMS傳感器的身影。

智騰微電子SiA200系列MEMS加速度計(jì)MEMS加速度計(jì)是整個(gè)MEMS傳感器中的一個(gè)分支，在我國(guó)主要應(yīng)用在軍事領(lǐng)域、醫(yī)學(xué)、工業(yè)、汽車(chē)、消費(fèi)電子和航空航天系統(tǒng)，這主要得力于MEMS加速度計(jì)體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價(jià)格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，下圖是MEMS傳感器在我國(guó)的市場(chǎng)規(guī)模。在整個(gè)MEMS市場(chǎng)所占份額超過(guò)70%。隨著MEMS執(zhí)行器生產(chǎn)技術(shù)的成熟和應(yīng)用場(chǎng)景的增加，未來(lái)也會(huì)實(shí)現(xiàn)快速增長(zhǎng)。

MEMS傳感器中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模SiA200系列是青島智騰微電子自主研發(fā)的MEMS加速度計(jì)，SiA200系列是一種的電容體的MEMS加速度計(jì)，專(zhuān)為慣性應(yīng)用設(shè)計(jì)。長(zhǎng)期穩(wěn)定性好，標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性，低運(yùn)行偏差，振動(dòng)整流誤差以及低噪音等方面具備明顯優(yōu)勢(shì)。內(nèi)部集成了信號(hào)調(diào)理、模擬±2.7V輸出、內(nèi)置自檢電路和一個(gè)溫度傳感器方便用戶(hù)進(jìn)行補(bǔ)償。能夠?yàn)閼?zhàn)術(shù)級(jí)測(cè)量需求提供有效可靠的支撐。

SiA200系列MEMS加速度計(jì)各產(chǎn)品參數(shù)智騰微電子SiA200系列的應(yīng)用領(lǐng)域：【航空航天】慣性測(cè)量單元 IMU、航空電子、姿態(tài)控制、武器發(fā)射系統(tǒng)、平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)、GPS輔助制導(dǎo)、無(wú)人機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)、短程制導(dǎo)、機(jī)器人技術(shù)等【海基陸基】尋北、聲納定位、ROV 制導(dǎo)、武器發(fā)射系統(tǒng)、船舶航海和控制、單兵手持機(jī)地圖、載具定位等【地質(zhì)勘探】LWD、MWD、鉆井導(dǎo)向、盾構(gòu)機(jī)等。