近年來，全球范圍半導體市場發(fā)展迅猛，持續(xù)以穩(wěn)速增長的趨勢發(fā)展。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，全球晶圓出貨量在2017年首次突破10000百萬平方英寸；2018年，全球半導體市場預估保持在8%的增速，并且預計未來五年持續(xù)增長。其中，中國市場更是以驚人的速度增長，奠定未來引領(lǐng)行業(yè)的基礎，半導體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展促使半導體設備資本支出不斷上升，中國市場在半導體設備方面的資本支出增長超過其他主流國家。

“中國的半導體產(chǎn)業(yè)正處于飛速發(fā)展之中，我們看見了中國市場巨大的機會，在國家支持、政府的推動下，巴斯夫?qū)⒃趪鴥?nèi)不斷投入、支持中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展?！卑退狗螂娮硬牧现袊鴧^(qū)總經(jīng)理竇崢在接受包括大半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)在內(nèi)的媒體采訪時這樣說道。

巴斯夫電子材料中國區(qū)總經(jīng)理竇崢

隨著半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進步，半導體制程實現(xiàn)單位數(shù)節(jié)點，現(xiàn)有達到7nm、5nm節(jié)點制造工藝，不斷縮小的設計制程要求同等先進的化學品來支持制造工藝。其中，電子級硫酸對化學工業(yè)的影響較為重要，近年來，電子級硫酸在中國市場的需求以每年12%的復合率增長，并且未來被用于先進制程的需求將不斷上升。

近日，巴斯夫宣布，位于浙江嘉興的新建電子級硫酸（H2SO4）裝置正式投入運營，將主要服務于國內(nèi)日益增長的半導體制造行業(yè)。在客戶強勁需求的推動下，該裝置尚未竣工即同時啟動擴建項目，擴容后產(chǎn)能將翻番，達到二萬四千噸。擴建項目預計將于今年年底投產(chǎn)。

巴斯夫在浙江嘉興的電子級硫酸裝置投入運營

巴斯夫電子材料業(yè)務部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士表示：“嘉興的新電子級硫酸裝置是巴斯夫在中國電子材料市場持續(xù)增長與拓展的又一重要舉措。中國已成為全球最大電子材料市場之一，而且還在不斷成長，我們很高興能夠參與這一增長勢頭。我們將更貼近客戶，為他們提供更迅捷、更高效的化學解決方案、更可靠的供應和更穩(wěn)定的品質(zhì)。”

巴斯夫電子材料業(yè)務部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士

據(jù)言甯璿介紹，2016年至2018年，巴斯夫開始電子級硫酸本地化生產(chǎn)，巴斯夫電子材料嘉興生產(chǎn)裝置開始投入運營，為中國半導體行業(yè)本地化供應超純材料邁出第一步。在市場強勁的需求下，巴斯夫?qū)⒗^續(xù)擴大生產(chǎn)規(guī)模，與國內(nèi)領(lǐng)先芯片制造企業(yè)開展業(yè)務，為中國超純材料的大規(guī)模生產(chǎn)保駕護航。

要想與市場上現(xiàn)有的企業(yè)競爭，至關(guān)重要的是能夠提供高質(zhì)量的產(chǎn)品以及卓越的供應鏈服務?！凹闻d裝置，為增長而建立”，巴斯夫電子材料嘉興生產(chǎn)裝置不斷推進材料生產(chǎn)本地化，追隨客戶的腳步，向北京、上海、南京、重慶、成都、廈門等主要晶圓廠提供可靠的供應。據(jù)悉，巴斯夫還專門設有穩(wěn)定的物流環(huán)節(jié)確?？煽康墓ｉL遠來看，巴斯夫在中國的擴建，也是滿足未來增長需求的一大有利舉措，強化布局全球化網(wǎng)絡。

該套新裝置位于上海西南的浙江省嘉興市海濱城鎮(zhèn)乍浦，配備了最先進的技術(shù)，將生產(chǎn)最高品質(zhì)的硫酸。因為在制造小于10納米單位數(shù)節(jié)點晶片的過程中需要經(jīng)過數(shù)百道清洗工序，新裝置所生產(chǎn)的硫酸將主要用于此過程中半導體晶片的清潔。這一裝置擁有先進的質(zhì)量分析設備和配有專用無塵室的分析實驗室，旨在滿足中國電子行業(yè)客戶的未來需求。

值得一提的是，在嘉興硫酸裝置分化過程中，采用全自動化的方式，最大限度減少工作人員在工作過程中暴露的可能，保證了安全性。“其中配備在線生產(chǎn)控制系統(tǒng)，采用硬件結(jié)合軟件一體化設計，能夠真正實現(xiàn)生產(chǎn)無縫連接與可視化，運用多步過濾技術(shù)，最大程度實現(xiàn)微量金屬粒子去除，保證了超高純度硫酸的品質(zhì)與穩(wěn)定性，同時回收利用部分化學品，做到零排放，大大增強環(huán)境友好性。”巴斯夫電子材料事業(yè)部中國區(qū)項目及工廠營運總監(jiān)李超說到。

巴斯夫電子材料事業(yè)部中國區(qū)項目及工廠營運總監(jiān)李超

另外，巴斯夫的檢測與分析能力在同樣樣本中分析出的粒子更加密集，其分析能力和特有工藝通過行業(yè)領(lǐng)先的識別塵粒計數(shù)水平方式能夠確保最佳質(zhì)量，高于行業(yè)平均水平。并且，巴斯夫正持續(xù)向更高靈敏度推進。

巴斯夫嘉興裝置所生產(chǎn)的硫酸在性能水平上已經(jīng)超越了當今速度最快、性能最優(yōu)的半導體標準要求，其質(zhì)量與穩(wěn)定性在業(yè)內(nèi)首屈一指。嘉興裝置依托巴斯夫全球研發(fā)網(wǎng)絡與專業(yè)生產(chǎn)技術(shù)，成功搭建出生產(chǎn)工藝的復雜架構(gòu)，并實施質(zhì)量管理專有體系。

作為全球領(lǐng)先的電子材料供應商，巴斯夫三十多年來在中國不斷壯大本土團隊，發(fā)揮長期在全球累積的經(jīng)驗優(yōu)勢，結(jié)合專業(yè)的技術(shù)知識幫助中國客戶成長，為電子行業(yè)提供多種解決方案，包括經(jīng)過高純度先進方法加工的特種化學品組合以及面向電子行業(yè)的應用和定制化解決方案。真正實現(xiàn)“攜手客戶共同創(chuàng)造化學新作用，創(chuàng)新電子未來”的美好愿景。