近年來(lái)，全球范圍半導(dǎo)體市場(chǎng)發(fā)展迅猛，持續(xù)以穩(wěn)速增長(zhǎng)的趨勢(shì)發(fā)展。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，全球晶圓出貨量在2017年首次突破10000百萬(wàn)平方英寸；2018年，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)預(yù)估保持在8%的增速，并且預(yù)計(jì)未來(lái)五年持續(xù)增長(zhǎng)。其中，中國(guó)市場(chǎng)更是以驚人的速度增長(zhǎng)，奠定未來(lái)引領(lǐng)行業(yè)的基礎(chǔ)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展促使半導(dǎo)體設(shè)備資本支出不斷上升，中國(guó)市場(chǎng)在半導(dǎo)體設(shè)備方面的資本支出增長(zhǎng)超過(guò)其他主流國(guó)家。

“中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于飛速發(fā)展之中，我們看見(jiàn)了中國(guó)市場(chǎng)巨大的機(jī)會(huì)，在國(guó)家支持、政府的推動(dòng)下，巴斯夫?qū)⒃趪?guó)內(nèi)不斷投入、支持中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。”巴斯夫電子材料中國(guó)區(qū)總經(jīng)理竇崢在接受包括大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)在內(nèi)的媒體采訪時(shí)這樣說(shuō)道。

巴斯夫電子材料中國(guó)區(qū)總經(jīng)理竇崢

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進(jìn)步，半導(dǎo)體制程實(shí)現(xiàn)單位數(shù)節(jié)點(diǎn)，現(xiàn)有達(dá)到7nm、5nm節(jié)點(diǎn)制造工藝，不斷縮小的設(shè)計(jì)制程要求同等先進(jìn)的化學(xué)品來(lái)支持制造工藝。其中，電子級(jí)硫酸對(duì)化學(xué)工業(yè)的影響較為重要，近年來(lái)，電子級(jí)硫酸在中國(guó)市場(chǎng)的需求以每年12%的復(fù)合率增長(zhǎng)，并且未來(lái)被用于先進(jìn)制程的需求將不斷上升。

近日，巴斯夫宣布，位于浙江嘉興的新建電子級(jí)硫酸（H2SO4）裝置正式投入運(yùn)營(yíng)，將主要服務(wù)于國(guó)內(nèi)日益增長(zhǎng)的半導(dǎo)體制造行業(yè)。在客戶強(qiáng)勁需求的推動(dòng)下，該裝置尚未竣工即同時(shí)啟動(dòng)擴(kuò)建項(xiàng)目，擴(kuò)容后產(chǎn)能將翻番，達(dá)到二萬(wàn)四千噸。擴(kuò)建項(xiàng)目預(yù)計(jì)將于今年年底投產(chǎn)。

巴斯夫在浙江嘉興的電子級(jí)硫酸裝置投入運(yùn)營(yíng)

巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士表示：“嘉興的新電子級(jí)硫酸裝置是巴斯夫在中國(guó)電子材料市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)與拓展的又一重要舉措。中國(guó)已成為全球最大電子材料市場(chǎng)之一，而且還在不斷成長(zhǎng)，我們很高興能夠參與這一增長(zhǎng)勢(shì)頭。我們將更貼近客戶，為他們提供更迅捷、更高效的化學(xué)解決方案、更可靠的供應(yīng)和更穩(wěn)定的品質(zhì)。”

巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士

據(jù)言甯璿介紹，2016年至2018年，巴斯夫開(kāi)始電子級(jí)硫酸本地化生產(chǎn)，巴斯夫電子材料嘉興生產(chǎn)裝置開(kāi)始投入運(yùn)營(yíng)，為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)本地化供應(yīng)超純材料邁出第一步。在市場(chǎng)強(qiáng)勁的需求下，巴斯夫?qū)⒗^續(xù)擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，與國(guó)內(nèi)領(lǐng)先芯片制造企業(yè)開(kāi)展業(yè)務(wù)，為中國(guó)超純材料的大規(guī)模生產(chǎn)保駕護(hù)航。

要想與市場(chǎng)上現(xiàn)有的企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)，至關(guān)重要的是能夠提供高質(zhì)量的產(chǎn)品以及卓越的供應(yīng)鏈服務(wù)。“嘉興裝置，為增長(zhǎng)而建立”，巴斯夫電子材料嘉興生產(chǎn)裝置不斷推進(jìn)材料生產(chǎn)本地化，追隨客戶的腳步，向北京、上海、南京、重慶、成都、廈門(mén)等主要晶圓廠提供可靠的供應(yīng)。據(jù)悉，巴斯夫還專門(mén)設(shè)有穩(wěn)定的物流環(huán)節(jié)確保可靠的供應(yīng)。長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，巴斯夫在中國(guó)的擴(kuò)建，也是滿足未來(lái)增長(zhǎng)需求的一大有利舉措，強(qiáng)化布局全球化網(wǎng)絡(luò)。

該套新裝置位于上海西南的浙江省嘉興市海濱城鎮(zhèn)乍浦，配備了最先進(jìn)的技術(shù)，將生產(chǎn)最高品質(zhì)的硫酸。因?yàn)樵谥圃煨∮?0納米單位數(shù)節(jié)點(diǎn)晶片的過(guò)程中需要經(jīng)過(guò)數(shù)百道清洗工序，新裝置所生產(chǎn)的硫酸將主要用于此過(guò)程中半導(dǎo)體晶片的清潔。這一裝置擁有先進(jìn)的質(zhì)量分析設(shè)備和配有專用無(wú)塵室的分析實(shí)驗(yàn)室，旨在滿足中國(guó)電子行業(yè)客戶的未來(lái)需求。

值得一提的是，在嘉興硫酸裝置分化過(guò)程中，采用全自動(dòng)化的方式，最大限度減少工作人員在工作過(guò)程中暴露的可能，保證了安全性。“其中配備在線生產(chǎn)控制系統(tǒng)，采用硬件結(jié)合軟件一體化設(shè)計(jì)，能夠真正實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)無(wú)縫連接與可視化，運(yùn)用多步過(guò)濾技術(shù)，最大程度實(shí)現(xiàn)微量金屬粒子去除，保證了超高純度硫酸的品質(zhì)與穩(wěn)定性，同時(shí)回收利用部分化學(xué)品，做到零排放，大大增強(qiáng)環(huán)境友好性。”巴斯夫電子材料事業(yè)部中國(guó)區(qū)項(xiàng)目及工廠營(yíng)運(yùn)總監(jiān)李超說(shuō)到。

巴斯夫電子材料事業(yè)部中國(guó)區(qū)項(xiàng)目及工廠營(yíng)運(yùn)總監(jiān)李超

另外，巴斯夫的檢測(cè)與分析能力在同樣樣本中分析出的粒子更加密集，其分析能力和特有工藝通過(guò)行業(yè)領(lǐng)先的識(shí)別塵粒計(jì)數(shù)水平方式能夠確保最佳質(zhì)量，高于行業(yè)平均水平。并且，巴斯夫正持續(xù)向更高靈敏度推進(jìn)。

巴斯夫嘉興裝置所生產(chǎn)的硫酸在性能水平上已經(jīng)超越了當(dāng)今速度最快、性能最優(yōu)的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)要求，其質(zhì)量與穩(wěn)定性在業(yè)內(nèi)首屈一指。嘉興裝置依托巴斯夫全球研發(fā)網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)生產(chǎn)技術(shù)，成功搭建出生產(chǎn)工藝的復(fù)雜架構(gòu)，并實(shí)施質(zhì)量管理專有體系。

作為全球領(lǐng)先的電子材料供應(yīng)商，巴斯夫三十多年來(lái)在中國(guó)不斷壯大本土團(tuán)隊(duì)，發(fā)揮長(zhǎng)期在全球累積的經(jīng)驗(yàn)優(yōu)勢(shì)，結(jié)合專業(yè)的技術(shù)知識(shí)幫助中國(guó)客戶成長(zhǎng)，為電子行業(yè)提供多種解決方案，包括經(jīng)過(guò)高純度先進(jìn)方法加工的特種化學(xué)品組合以及面向電子行業(yè)的應(yīng)用和定制化解決方案。真正實(shí)現(xiàn)“攜手客戶共同創(chuàng)造化學(xué)新作用，創(chuàng)新電子未來(lái)”的美好愿景。