感應(yīng)同步器特點(diǎn)
(1)精度高。定尺的節(jié)距誤差有平均自補(bǔ)償作用。
(2)測(cè)量長(zhǎng)度不受限制。感應(yīng)同步器可以采用多塊定尺接長(zhǎng),增大測(cè)量尺寸。
(3)工作可靠、抗干擾性強(qiáng)。
(4)維護(hù)簡(jiǎn)單、壽命長(zhǎng)。
(5)抗擾能力強(qiáng)、工藝性好、成本較低,便于復(fù)制和成批生產(chǎn)。
(6)輸出信號(hào)較微弱,需要放大倍數(shù)較高的前置放大器。
感應(yīng)同步器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
感應(yīng)同步器的構(gòu)造見(jiàn)圖4-5,其定尺和滑尺基板是由與機(jī)床熱臌脹系數(shù)相近的鋼板做成,鋼板上用絕緣粘結(jié)劑貼以鋼箔,并利用照像腐蝕的辦法做成圖示的印刷繞組。感應(yīng)同步器定尺和滑尺繞組的節(jié)距相等,均為,這是衡量感應(yīng)同步器精度的主要參數(shù),工藝上要保證其節(jié)距的精度。一塊標(biāo)準(zhǔn)型感應(yīng)同步器定尺長(zhǎng)度為250毫米,為2毫米,其絕對(duì)精度可達(dá)2.5,分辨率可達(dá)0.25。
從圖4-5可以看出,如果把定尺繞組和滑尺繞組B對(duì)準(zhǔn),那么滑尺繞組正好和定尺繞組相差1/4節(jié)距。也就是說(shuō),A繞組和B繞組在空間上相差1/4節(jié)距。
感應(yīng)同步器的定尺和滑尺尺座分別安裝在機(jī)床上兩個(gè)相對(duì)移動(dòng)的部件上(如工作臺(tái)和床身),當(dāng)工作臺(tái)移動(dòng)時(shí),滑尺在定尺移動(dòng)。滑尺和定尺要用防護(hù)罩罩住,以防止鐵屑、油污和切割液等東西落到器件上,從而影響正常工作。由于感應(yīng)同步器的檢測(cè)精度比較高,故對(duì)安裝有一定的要求,如在安裝時(shí)要保證定尺安裝面與機(jī)床導(dǎo)軌面的平行度要求,如這兩個(gè)面不平行,將引起定、滑尺之間的間隙變化,從而影響檢測(cè)靈敏度和檢測(cè)精度。
感應(yīng)同步器的優(yōu)點(diǎn)
①具有較高的精度與分辨力
其測(cè)量精度首先取決于印制電路繞組的加工精度,溫度變化對(duì)其測(cè)量精度影響不大。感應(yīng)同步器是由許多節(jié)距同時(shí)參加工作,多節(jié)距的誤差平均效應(yīng)減小了局部誤差的影響。目前長(zhǎng)感應(yīng)同步器的精度可達(dá)到±1.5微米,分辨力0.05微米,重復(fù)性0.2微米。直徑為300毫米的圓感應(yīng)同步器的精度可達(dá)±1″,分辨力0.05″,重復(fù)性0.1″。
②抗干擾能力強(qiáng)
感應(yīng)同步器在一個(gè)節(jié)距內(nèi)是一個(gè)絕對(duì)測(cè)量裝置,在任何時(shí)間內(nèi)都可以給出僅與位置相對(duì)應(yīng)的單值電壓信號(hào),因而瞬時(shí)作用的偶然干擾信號(hào)在其消失后不再有影響。平面繞組的阻抗很小,受外界干擾電場(chǎng)的影響很小。
③使用壽命長(zhǎng),維護(hù)簡(jiǎn)單
定尺和滑尺,定子和轉(zhuǎn)子互不接觸,沒(méi)有摩擦、磨損,所以使用壽命很長(zhǎng)。它不怕油污、灰塵和沖擊振動(dòng)的影響,不需要經(jīng)常清掃。但需裝設(shè)防護(hù)罩,防止鐵屑進(jìn)入其氣隙。
④可以作長(zhǎng)距離位移測(cè)量
可以根據(jù)測(cè)量長(zhǎng)度的需要,將若干根定尺拼接。拼接后總長(zhǎng)度的精度可保持(或稍低于)單個(gè)定尺的精度。目前幾米到幾十米的大型機(jī)床工作臺(tái)位移的直線(xiàn)測(cè)量,大多采用感應(yīng)同步器來(lái)實(shí)現(xiàn)。
⑤工藝性好,成本較低,便于復(fù)制和成批生產(chǎn)
由于感應(yīng)同步器具有上述優(yōu)點(diǎn),長(zhǎng)感應(yīng)同步器目前被廣泛地應(yīng)用于大位移靜態(tài)與動(dòng)態(tài)測(cè)量中,例如用于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、程控數(shù)控機(jī)床及高精度重型機(jī)床及加工中測(cè)量裝置等。圓感應(yīng)同步器則被廣泛地用于機(jī)床和儀器的轉(zhuǎn)臺(tái)以及各種回轉(zhuǎn)伺服控制系統(tǒng)中。
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