由于全固態(tài)LiDAR內(nèi)部沒(méi)有任何宏觀或微觀上的運(yùn)動(dòng)部件，耐久性和可靠性的優(yōu)勢(shì)不言而喻，且順應(yīng)了自動(dòng)駕駛對(duì)LiDAR固態(tài)化、小型化和低成本化的趨勢(shì)，因此成為車用激光雷達(dá)的趨勢(shì)。下面就按照不同的固態(tài)激光雷達(dá)技術(shù)做簡(jiǎn)單介紹。首先要介紹的是光學(xué)相控陣LiDAR。

1.光學(xué)相控陣LiDAR

激光雷達(dá)從機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)向聚束成形的進(jìn)化趨勢(shì)與雷達(dá)完全相同：軍事上廣泛應(yīng)用的相控陣?yán)走_(dá)一般擁有上千個(gè)發(fā)射天線單元，通過(guò)調(diào)節(jié)波束合成的方式，可以改變雷達(dá)掃描的方向而不需要機(jī)械部件運(yùn)轉(zhuǎn)，靈活性很高，適合應(yīng)對(duì)高機(jī)動(dòng)目標(biāo)，還可發(fā)射窄波束作為電子戰(zhàn)天線。

對(duì)于激光雷達(dá)，為了完全取消機(jī)械結(jié)構(gòu)，考慮通過(guò)調(diào)節(jié)發(fā)射陣列中每個(gè)發(fā)射單元的相位差來(lái)改變激光的出射角度，采用相控陣原理實(shí)現(xiàn)固態(tài)激光雷達(dá)。

那么什么是相控陣原理呢？生活中最常見的干涉例子是水波，兩處振動(dòng)產(chǎn)生的水波相互疊加，有的方向兩列波互相增強(qiáng)，有的方向正好抵消，將這個(gè)原理放大，采用多個(gè)光源組成陣列，通過(guò)控制各光源發(fā)射的時(shí)間差，就能合成角度靈活，且精密可控的主光束，這就是相控陣的原理。

在光學(xué)相控陣（OPA，Optical Phased Array）LiDAR中，相控陣發(fā)射器由若干發(fā)射接收單元組成陣列，通過(guò)改變加載在不同單元的電壓，進(jìn)而改變不同單元發(fā)射光波特性（如光強(qiáng)、相位），實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)單元光波的獨(dú)立控制，通過(guò)調(diào)節(jié)從每個(gè)相控單元輻射出的光波之間的相位關(guān)系，在設(shè)定方向上產(chǎn)生互相加強(qiáng)的干涉從而實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度光束，而其它方向上從各個(gè)單元射出的光波彼此相消，因此，輻射強(qiáng)度接近于零。組成相控陣的各相控單元在程序的控制下，可使一束或多束高強(qiáng)度光束的指向按設(shè)計(jì)的程序?qū)崿F(xiàn)隨機(jī)空域掃描。

光學(xué)相控陣是怎樣通過(guò)控制發(fā)射陣列中每個(gè)發(fā)射單元的相位差來(lái)改變激光的出射角度呢？

我們可以通過(guò)一個(gè)簡(jiǎn)單的比喻來(lái)認(rèn)識(shí)光學(xué)相控陣是如何工作的（如下圖 所示）：

假設(shè)有10個(gè)人在左側(cè)排成一列并排向前走，把他們的連線作為他們整體運(yùn)動(dòng)的陣列面，垂直于連線向右的方向?yàn)榍斑M(jìn)方向。

?如果10個(gè)人走路的速度都一樣時(shí)，則陣列面將平行向前移動(dòng)，其前進(jìn)方向不會(huì)發(fā)生改變，如下圖 （a）所示；

?如果最上方的人走得最慢，其他人的速度從上至下依次逐步增加，最下方的人走得最快，則陣列面不再是平行移動(dòng)，當(dāng)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后，最下方的人走得路程最遠(yuǎn)，最上方的人走得路程最短，其陣列面的前進(jìn)方向?qū)⑾蛏戏桨l(fā)生明顯的角度改變，如下圖（b）所示；

?如果最上方的人走得最快，其他人的速度從上至下依次逐步減少，最下方的人走得最慢，則經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后，陣列面的前進(jìn)方向?qū)⑾蛳路桨l(fā)生明顯的角度改變，如下圖（c）所示。

光學(xué)相控陣的工作原理與上面的比喻類似，它的每一個(gè)單元都可以對(duì)所通過(guò)的光（人）的速度進(jìn)行控制。當(dāng)一束光被分成許多個(gè)小單元（人），每小單元的光束（人）都通過(guò)一個(gè)光學(xué)相控陣單元，并被相控陣單元對(duì)其速度進(jìn)行嚴(yán)格控制。當(dāng)每個(gè)小單元的光束以同樣的時(shí)間通過(guò)光學(xué)相控陣后，其速度恢復(fù)到進(jìn)入光學(xué)相控陣前的速度，但由于每個(gè)小單元的光束所走過(guò)的光程（路程）不一樣，通過(guò)光學(xué)相控陣后合成的波陣面（上面比喻中的陣列面）將發(fā)生明顯變化，從而使得光束的指向發(fā)生偏轉(zhuǎn)，這就是光學(xué)相控陣的基本工作原理。

上面舉的是一維掃描的例子，如果我們把光學(xué)相控陣做成向二維陣列（比如下面介紹的Quanergy的方案），我們就可以實(shí)現(xiàn)二維的掃描。光學(xué)相控陣一般都是通過(guò)電信號(hào)對(duì)其相位進(jìn)行嚴(yán)格的控制實(shí)現(xiàn)光束指向掃描，因此也可以稱為電子掃描技術(shù)。

在2016年美國(guó)CES展上，Quanergy展出的“固態(tài)”SolidState激光雷達(dá)，是光學(xué)相控陣激光雷達(dá)，其滿足了激光雷達(dá)小型化的大趨勢(shì)，整個(gè)尺寸只有90mm x60mm x60mm。用到的核心的技術(shù)有光學(xué)相控陣列Optical Phased Array、光學(xué)集成電路Photonic IC、遠(yuǎn)場(chǎng)輻射方向圖Far FieldRadiation Pattern。這款產(chǎn)品完全沒(méi)有機(jī)械固件，可以稱得上的純固態(tài)激光雷達(dá)了。下圖是Quanergy公開的Solid State LiDAR S3光學(xué)相控陣掃描雷達(dá)工作原理示意圖。可以看出S3采用的是光學(xué)相控陣技術(shù)實(shí)現(xiàn)激光掃描，其原理與相控陣?yán)走_(dá)一樣，通過(guò)調(diào)節(jié)發(fā)射陣列中每個(gè)發(fā)射單元的相位差來(lái)改變激光的出射角度。

考慮到Quanergy公司的CEO兼聯(lián)合創(chuàng)始人Louay Eldada的技術(shù)背景和Quanergy對(duì)外發(fā)布的S3工作原理，如上圖所示，Quanergy應(yīng)該是采用了光通信中成熟的平面光波導(dǎo)技術(shù)制作光學(xué)相控陣掃描器件。為了獲得良好的相干合成效果，要求波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的尺寸非常微小，僅有幾百納米量級(jí)，可以承受通過(guò)的激光功率有限。這與水管越小，可容納的水流量越小一個(gè)道理。如果采用脈沖測(cè)距體制，將導(dǎo)致信噪比不足，探測(cè)距離有限，必須采用其他手段來(lái)彌補(bǔ)，譬如多脈沖、脈沖編碼或連續(xù)波調(diào)制等來(lái)提高信噪比。

另外，我們常說(shuō)激光雷達(dá)的抗干擾能力強(qiáng)，那是因?yàn)閭鹘y(tǒng)機(jī)械掃描的激光雷達(dá)接收視場(chǎng)特別小，外界的直接照射干擾信號(hào)很難對(duì)準(zhǔn)并進(jìn)入激光雷達(dá)的接收視場(chǎng)。而且，激光雷達(dá)能接收到的背景光噪聲功率是與接收視場(chǎng)成正比的，視場(chǎng)越大，背景光噪聲功率越高。Quanergy的光學(xué)相控陣掃描僅能對(duì)發(fā)射激光束指向進(jìn)行控制，不能實(shí)現(xiàn)接收光路進(jìn)行同步掃描，這就要求S3激光雷達(dá)必須采用一個(gè)大視場(chǎng)的接收光學(xué)系統(tǒng)來(lái)接收激光的回波信號(hào)。如果掃描角度范圍為±60o，那么接收視場(chǎng)的角度也必須達(dá)到±60o，這會(huì)造成信噪比的下降，而且容易受到其他同類系統(tǒng)發(fā)射的激光信號(hào)和太陽(yáng)直射的干擾。

綜合來(lái)說(shuō)，與傳統(tǒng)機(jī)械掃描技術(shù)相比，光學(xué)相控陣掃描技術(shù)有三大優(yōu)勢(shì)：

?掃描速度快：光學(xué)相控陣的掃描速度取決于所用材料的電子學(xué)特性和器件的結(jié)構(gòu)，一般都可以達(dá)到MHz量級(jí)以上。

?掃描精度或指向精度高：光學(xué)相控陣的掃描精度取決于控制電信號(hào)的精度（一般為電壓信號(hào)），可以做到μrad（千分之一度）量級(jí)以上。

?可控性好：光學(xué)相控陣的光束指向完全由電信號(hào)控制，在允許的角度范圍內(nèi)可以做到任意指向，可以在感興趣的目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行高密度的掃描，在其他區(qū)域進(jìn)行稀疏掃描，這對(duì)于自動(dòng)駕駛環(huán)境感知非常有用。

但光學(xué)相控陣掃描技術(shù)也有它的缺點(diǎn)：

? 易形成旁瓣，影響光束作用距離和角分辨率：光束經(jīng)過(guò)光學(xué)相控陣器件后的光束合成實(shí)際是光波的相互干涉形成的，干涉效果易形成如下圖所示的旁瓣，使得激光能量被分散。

?加工難度高,制造工藝難度較大。光學(xué)相控陣要求陣列單元尺寸必須不大于半個(gè)波長(zhǎng)，一般目前激光雷達(dá)的工作波長(zhǎng)均在1微米左右，這就意味著陣列單元的尺寸必須不大于500納米。而且陣列數(shù)越多，陣列單元的尺寸越小，能量約往主瓣集中，這就對(duì)加工精度要求更高。

?此外，材料的研究和選擇也是非常關(guān)鍵的因素，到目前為止，鈮酸鋰晶體、PLZT壓電陶瓷、液晶和AlGaAs基波導(dǎo)光學(xué)相控已得到開發(fā)。未來(lái)，器件方面，進(jìn)一步減小相控陣單元尺寸，提高衍射效率，減小器件尺寸；更為根本的材料研究方面，開發(fā)工作在中波紅外、長(zhǎng)波紅外、紫外波段的液晶材料，以及繼續(xù)尋求具有大雙折射、響應(yīng)速度快、熱穩(wěn)定性高、耐強(qiáng)激光的高性能電光材料，同時(shí)發(fā)展對(duì)中長(zhǎng)波和紫外波段具有較好透過(guò)率的電光材料，以擴(kuò)展光學(xué)相控陣器件的應(yīng)用領(lǐng)域。