嚴(yán)格的產(chǎn)品質(zhì)量要求需要在潔凈或超凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)。即使是空氣中最小的雜質(zhì)也會(huì)對(duì)生產(chǎn)流程造成不利影響,導(dǎo)致高報(bào)廢率。該類生產(chǎn)環(huán)境下的空氣補(bǔ)給幾乎需要100%無(wú)塵無(wú)細(xì)菌,而風(fēng)機(jī)對(duì)此起著重要作用。然而,風(fēng)機(jī)要做的不應(yīng)該僅僅只是“流通空氣”,除了要求的空氣動(dòng)力性能外,尺寸緊湊、噪聲低、潔凈室適用材料、智能控制、連網(wǎng)能力和24/7節(jié)能運(yùn)行等都屬于關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)。
EC離心風(fēng)機(jī),讓潔凈室節(jié)能高效地運(yùn)行
潔凈室對(duì)其通風(fēng)系統(tǒng)有特殊要求,包括充足的空氣流量和壓力、精確的溫度和濕度調(diào)控以及始終如一的空氣質(zhì)量(圖1),不管空氣流通方式或房間尺寸如何均同樣適用(圖2)。可以通過(guò)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)實(shí)現(xiàn)這些要求,該單元將過(guò)濾系統(tǒng)與風(fēng)機(jī)相結(jié)合,采用吸頂式安裝,特別是在大型潔凈室中。
圖1:潔凈室通風(fēng)有2種氣流系統(tǒng):紊流(左)和層流(右)
在潔凈室使用FFU是補(bǔ)給潔凈空氣最經(jīng)濟(jì)的方法之一。FFU的核心極其緊湊,扁平化設(shè)計(jì)的模塊式內(nèi)置風(fēng)機(jī)只需要很小的安裝空間。
圖2:即插即用式風(fēng)機(jī)模塊,風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU應(yīng)用(左),吸頂式FFU,內(nèi)部裝有空氣顆粒物過(guò)濾器(右)
由于高空氣置換率,潔凈室中運(yùn)行的空調(diào)和通風(fēng)系統(tǒng)消耗能量最多,使能源效率日益成為一個(gè)重要問(wèn)題。FFU生產(chǎn)商不僅需要高度緊湊的風(fēng)機(jī),還必須使其高效地運(yùn)行。這就使我們的綠色科技EC技術(shù)的優(yōu)勢(shì)顯得尤為突出,因?yàn)椴捎迷摷夹g(shù)的FFU能達(dá)到50%以上的效率,而對(duì)于傳統(tǒng)風(fēng)機(jī)技術(shù)這是不可能實(shí)現(xiàn)的。在噪聲釋放方面,綠色科技EC風(fēng)機(jī)也能滿足嚴(yán)格的要求,例如,RadiCal?離心風(fēng)機(jī)的噪音水平比之前的市場(chǎng)標(biāo)準(zhǔn)低6-7dB(A),可顯著改善潔凈室噪音水平和工人的舒適度。
電機(jī)和風(fēng)機(jī)專家依必安派特提供一系列專門(mén)用于風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元并且滿足所有相關(guān)強(qiáng)制性要求的EC離心風(fēng)機(jī)。可選直徑有310、355 和400mm,在250-300 Pa背壓下空氣動(dòng)力性能可達(dá)1170、1750和2330m3/h。風(fēng)機(jī)因其外轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)極為緊湊,高度從190到275mm不等,尺寸扁平,方便與同樣緊湊的FFU集成。
圖3:采用節(jié)能型綠色科技EC技術(shù)的緊湊風(fēng)機(jī),用于風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元
智能控制,迎接物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代
因?yàn)镋C電機(jī)效率極高,排放到流通空氣中的廢熱很少,產(chǎn)生的環(huán)境熱應(yīng)力也較小,從而顯著降低了對(duì)冷卻系統(tǒng)的需求。
通過(guò)0-10V信號(hào)或數(shù)字RS-485界面控制EC風(fēng)機(jī),可以實(shí)現(xiàn)基于實(shí)際需求的運(yùn)行,此應(yīng)用非常適用于有幾千臺(tái)、甚至幾萬(wàn)臺(tái)FFU運(yùn)行的潔凈室。在這種情況下,使用Modbus 或ebmBUS進(jìn)行聯(lián)網(wǎng)極為切實(shí)有效(圖4),通過(guò)中央電腦控制界面可以平穩(wěn)調(diào)整電機(jī)運(yùn)行速度。由于EC電機(jī)在部分荷載運(yùn)行中比基于其它控制理念的電機(jī)效率更高,因而經(jīng)濟(jì)性也更高。如果某臺(tái)過(guò)濾器吸頂風(fēng)機(jī)故障,可以通過(guò)增加鄰近風(fēng)機(jī)的速度進(jìn)行補(bǔ)償。這種冗余功能可以通過(guò)維持適當(dāng)氣流,實(shí)現(xiàn)高度的運(yùn)行可靠性。
圖4:支持Modbus和ebmBUS接口聯(lián)網(wǎng)的EC風(fēng)機(jī),可使用直觀的軟件進(jìn)行控制
多項(xiàng)測(cè)試,保證風(fēng)機(jī)安全可靠
風(fēng)機(jī)在潔凈室內(nèi)使用時(shí),其葉輪通常由金屬制成,關(guān)于在潔凈室通風(fēng)系統(tǒng)中使用塑料制品常常有所保留。塑料制品生產(chǎn)過(guò)程中的添加劑疑似會(huì)釋放和威脅到潔凈室生產(chǎn)制程有關(guān)的風(fēng)險(xiǎn),依必安派特審慎分析了釋氣問(wèn)題。
RadiCal?系列風(fēng)機(jī)已經(jīng)經(jīng)過(guò)潔凈室運(yùn)行違禁物質(zhì)嚴(yán)格測(cè)試,根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)ITRS 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)這些物質(zhì)進(jìn)行了評(píng)估。依必安派特的RadiCal?葉輪成功通過(guò)了所有相關(guān)測(cè)試。測(cè)試結(jié)果顯示,所使用的塑料無(wú)毒無(wú)害,潛在污染物的排放水平遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于許可范圍。現(xiàn)在,用戶在潔凈室應(yīng)用中也能享受到塑料葉輪創(chuàng)新設(shè)計(jì)的所有好處。畢竟,塑料可以提供比金屬多得多的設(shè)計(jì)選擇(圖5)。
圖5:RadiCal系列離心風(fēng)機(jī),潔凈廠房的不二之選
依必安派特將攜通風(fēng)及制冷解決方案亮相國(guó)際半導(dǎo)體行業(yè)盛事SEMICON CHINA,屆時(shí)現(xiàn)場(chǎng)將有產(chǎn)品解說(shuō)及演示,歡迎前來(lái)揭秘更多新科技!
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原文標(biāo)題:依必安派特丨潔凈室FFU節(jié)能高效運(yùn)行的背后
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