光學(xué)工具測量顯微鏡扮演著核心角色。這是一種集成了觀察、測量與數(shù)據(jù)處理功能的系統(tǒng)化顯微鏡系統(tǒng)，主要由位移傳感器、精密工作平臺、系統(tǒng)顯微鏡、高清圖像采集系統(tǒng)、專業(yè)測量軟件以及計算機終端組成。其工作原理基于非接觸式測量技術(shù)，利用相對量測法，通過顯微鏡對工作件表面形態(tài)進行高倍率觀察，并借助位移傳感器精確捕捉位置信息，從而在計算機上實現(xiàn)高精度測量與數(shù)據(jù)分析。
一、產(chǎn)品描述
1.產(chǎn)品特性
● Z軸可選配輔助對焦測高功能
● 視場寬闊，可得清晰無閃爍影像
● 高精度測量，同時具有大測量范圍和高精度，適用于各種測量
● 選用無限遠長距明場金相物鏡，滿足長工作距離的測量要求
● 照明裝置（反射/透射）可選用高亮度LED的照明或鹵素照明
● 利用可變孔徑光闌進行無衍射觀察測量
● 快速釋放裝置便于測量工件大或測量工件數(shù)量多的快速移動工作臺
● 高位目鏡觀察
2.技術(shù)規(guī)格
測量范圍 | 200*100 | 200*200 | 300*200 | 400*300 |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠光學(xué)系統(tǒng) | |||
成像方式 | 5°～35°傾角可調(diào)，正像，無限遠鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50MM～76MM； | |||
倒像，無限遠鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50MM～76MM； | ||||
正像，無限遠鉸鏈三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50MM～76MM； | ||||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡10X，視場直徑23MM，可視度可調(diào)，可帶測微尺； | |||
物鏡 | 無限遠長工作距半復(fù)消色差明場金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | |||
無限遠長工作距半復(fù)消色差明暗場金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X | ||||
無限遠長工作距全復(fù)消色差明暗場金相物鏡10X、20X、50X、100X | ||||
無限遠超長工作距高分辨率全復(fù)消色差95MM可見光APO金相物鏡2X、5X、10X、20X、50X、100X | ||||
放大倍率 | 光學(xué)：50X-1000X | 影像：135X-2700X | ||
轉(zhuǎn)換器 | 5孔手動轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） 5孔自動轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽） | |||
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器，帶明、暗場照明器切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，5WLED燈源，5WLED透射光源，亮度均可調(diào) | |||
明場反射照明器，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，5WLED燈源，5WLED透射光源，亮度均可調(diào) | ||||
輔助對焦模塊，帶明、暗光楔切換裝置，帶綠光5W LED燈源 | ||||
調(diào)焦方式 | 手動粗微調(diào)，粗微調(diào)同軸，左右手柄 | |||
相機 | 像素1200萬，靶面尺寸：1/1.8，4000(H)×3000(V)，最大幀率：20 FPS | |||
測量精度 | （2.5+L/200）μm | |||
產(chǎn)品結(jié)構(gòu) | 鑄鐵，大理石 | |||
二、應(yīng)用領(lǐng)域
TOCK系列工具測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和平面幾何公差測量功能。具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。
三、應(yīng)用實例圖
