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合肥智測電子有限公司

專注儀器儀表,具有溫度傳感器、變送器、溫度檢測儀器、溫度校準設備裝置等精密溫度測量和控制完整的產品線。

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TC wafer 晶圓測溫系統廣泛應用半導體上 支持定制

型號: TC WAFER
品牌: zhice(智測電子)

--- 產品參數 ---

  • 支持 定制
  • 溫度范圍 -50-1200

--- 產品詳情 ---

TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面,對晶圓表面的溫度進行實時測量。通過晶圓的測溫點了解特定位置晶圓的真實溫度,以及晶圓整體的溫度分布,同還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化,獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數據,從而了解半導體設備的溫度均勻度。

- 傳輸通道數量可定制;

- 優異的軟件功能,可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況;

- 數據可儲存調用;

- 可提供溫度曲線圖,方便直觀的看到溫度變化趨勢

- 真空環境下,溫度傳感器保持高精度和良好的穩定性

測溫范圍:-50℃至1200℃

熱電偶類型:K型

精度:±0.5℃±0.1%讀數

線徑:0.127、0.254mm

測溫點數:1~68個

傳感器引線:可定制

工藝:焊接設計

絕緣材料:石英、Teflon、二氧化硅、陶瓷、PA

測溫探頭接口:DB37、微型插座

晶圓材質:硅片,藍寶石,碳化硅等(基材形狀和尺寸可定制)

晶圓尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm

真空貫通帶:聚酰亞胺扁平電纜,大氣壓可達10-7Torr(長度由客戶指定)

TC-Wafer晶圓溫度測量系統應用于許多行業,包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、ION 等應用注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝。智測電子具有高精度溫度測量與控制技術和經驗,支持產品定制

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