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摘 要:主要研究了自動(dòng)微器件裝配系統(tǒng)的定標(biāo)技術(shù)和操縱策略?xún)蓚€(gè)問(wèn)題.在加入了尺度因子優(yōu)化步驟之后,一種基于Tsai兩步法的自定標(biāo)方法實(shí)現(xiàn)了亞微米級(jí)的定標(biāo)精度,并且獲得了更加可信的定標(biāo)角度參數(shù).這種定標(biāo)方法應(yīng)用于微器件裝配系統(tǒng)中并可以實(shí)現(xiàn)高精度的微器件定位.除了精確定標(biāo)之外,我們還應(yīng)該選擇合適的工作環(huán)境來(lái)控制粘附力的大小來(lái)提高微器件操縱成功率,選擇合適的夾持和釋放方式來(lái)提高微器件操縱效率和釋放位置精度,選擇一種安全簡(jiǎn)單的移動(dòng)路徑來(lái)縮短移動(dòng)時(shí)間.實(shí)驗(yàn)表明,我們的自動(dòng)微器件裝配系統(tǒng)可以在10s內(nèi)完成一個(gè)器件的定位和移動(dòng)操作,并實(shí)現(xiàn)數(shù)微米的釋放位置精度.
關(guān)鍵詞:微器件裝配;顯微鏡定標(biāo);尺度因子;相對(duì)濕度;操縱策略;操縱效率
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