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為了提高激光跟蹤儀的跟蹤精度，改善激光跟蹤儀性能，根據測量光斑在PSD上的坐標可實現光斑位移測量的原理，研究了提高微位移測量精度的方法，設計出一種由PSD傳感器、ADS8556模數轉換器和TMS320F28335數字信號處理器構成的高性能微位移測量系統。該系統在硬件設計中引入二階有源低通濾波器消除了部分噪聲干擾；在軟件設計中通過誤差補償和數字濾波進一步提高了數據可靠性。
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