技術領域本發(fā)明屬于微機械傳感器領域，涉及一種MEMS陀螺零點校準方法，尤其涉及一種消除MEMS陀螺零漂、溫漂、隨機游走的方法。

　　背景技術MEMS陀螺儀的結構大幅減小，單封裝數(shù)字和模擬接口占板面積極小，只有幾平方毫米。MEMS陀螺和傳統(tǒng)的陀螺相比最大的優(yōu)勢就是體積小，并且價格優(yōu)勢明顯，這些優(yōu)勢促使MEMS陀螺滲透到手持式設備市場。MEMS陀螺讓便攜式設備加入許多令人驚喜的功能，例如提高相機拍攝性能的穩(wěn)像功能，易用的用戶界面以及游戲娛樂功能等。同時，MEMS陀螺還將用于需要高靈敏度、低噪聲、低漂移（因長時間使用而發(fā)生的測量偏差或受到環(huán)境溫度影響產(chǎn)生的偏差）的航位推測和GPS輔助導航。MEMS陀螺與其他類型陀螺相比具有許多優(yōu)勢，但其自身也有一些缺點，給其應用帶來了一些限制。由于MEMS陀螺特殊的微機械結構，其工作主要受諧振頻率的影響，而陀螺儀材料的彈性模量以及陀螺的外圍電路的性能都會隨溫度變化而變化。MEMS陀螺最大的缺點就是陀螺本身的隨機游走，以及容易受到溫度等外界環(huán)境因數(shù)的影響。在保證測量精度的條件下，如何克服陀螺的隨機游走和零點漂移就變得至關重要。現(xiàn)在普遍的做法是通過實驗的方法找到陀螺的輸出值和角速度以及誤差之間的準確關系，然后再利用此關系去修正陀螺的輸入角速度。例如一種微機械陀螺儀誤差的高精度補償方法（理論與方法，2012，31 （8）：18-20.）中利用Allan方差辨識陀螺儀的噪聲系數(shù)，根據(jù)微陀螺儀的誤差模型設計了卡爾曼濾波器進行動態(tài)仿真。此方法需用涉及到矩陣的計算，不利于單片機等微處理器處理，而且陀螺的輸出值還伴有零均值高斯白噪聲。同時此類方法求導出的關系式是精確的，需要確定每個參數(shù)的值，外部環(huán)境隨時都會變化，任意一個參數(shù)的變化都會對陀螺的輸出值產(chǎn)生影響，實時適應性比較差。