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研究了電容式傳感器的適配電路。闡述了微小電容測量電路的應(yīng)用背景和國內(nèi)外研究現(xiàn)狀， 針對電容式傳感器的工作原理確定了適配電路的選擇方案。詳細介紹了 PS021 的特性、功能和工作原理。設(shè)計了采用該芯片的微小電容測量模塊， 應(yīng)用系統(tǒng)設(shè)計方法， 提高了微小電容的測量精度， 具有良好的應(yīng)用前景。
電容式傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè) 、民用 、商用等領(lǐng)域 。因而 ，對電容特別是對微小電容的精確測量是促進應(yīng)用發(fā)展的一個很重要的方面 。目前所采用大部分測量方法集成化水平低、精度低。如電橋法利用電橋平衡原理測量電容， 測量結(jié)果受橋臂電容性能影響較大;振蕩法電路結(jié)構(gòu)簡單 ， 對待測電容在 100 pF以下時 ，板間內(nèi)電容常會影響測量結(jié)果 ，抗干擾能力也較差。
選用的 PS021 芯片設(shè)計微小電容測量模塊 ， 可以有效地提高測量精度。盡管該芯片對于溫度和電壓變化很敏感， 但是通過適當(dāng)?shù)乜刂坪托?zhǔn)方法可以將通過邏輯門的延遲作為高精度時間間隔測量的基準(zhǔn) 。現(xiàn)代化的 CMOS 技術(shù)使其單次測量的精確度最高可達 10 ps（相當(dāng)于 100 GHz）.
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