資料介紹
文章中設計的新型傳感器在工藝上采用多晶硅掩埋電阻,刻蝕成“S”形正對聚酰亞胺高分子感濕介質下方,在高濕情況下有反饋信號開啟加熱電阻和選擇高濕下的DSP,單片機也同樣對高濕是的數據另行運算輸出,這樣可以克服采用加熱電阻結構時整體感濕電容偏小,對后續電路精度和抗干擾要求較高。但放棄加熱電阻,完全依賴感濕介質的物理吸附,在高濕時,已被吸附的水分子通過氫鍵作用與水分子鍵合,不但使吸濕量增大從而偏離原來的線性曲線,而且大量水分子形成團簇不易脫附而造成濕滯。
這種新型傳感器即利用了高分子低濕下的相對濕度與介電常數良好的線性關系,又巧妙的在僅在高濕下開啟加熱電阻,加熱電阻加速水分子的熱運動,是感濕介質中的吸濕和脫濕處在一個新的動態平衡中,避免了水分子間的相互鍵合,從而使感濕介質實現二次線性感濕,當然高濕和低濕分別用一個DSP處理。
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