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電子發燒友網>電子資料下載>顯示及光電>LED藍寶石基板加工工藝及其芯片背部減薄制程

LED藍寶石基板加工工藝及其芯片背部減薄制程

2017-10-12 | rar | 0.1 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  一、LED藍寶石基板加工工藝

  首先對于藍寶石基板來說,它在成為一片合格的襯底之前大約經歷了從切割、粗磨、精磨、以及拋光幾道工序。以2英寸藍寶石為例:

  1.切割:切割是從藍寶石晶棒通過線切割機切割成厚度在500um左右的毛片。在這項制程中,金剛石線鋸是最主要的耗材,目前主要來自日本、韓國與臺灣地區。

  2.粗拋:切割之后的藍寶石表面非常粗糙,需要進行粗拋以修復較深的刮傷,改善整體的平坦度。這一步主要采用50~80um的B4C加Coolant進行研磨,研磨之后表面粗糙度Ra大約在1um左右。

  3.精拋:接下來是較精細的加工,因為直接關系到最后成品的良率與品質。目前標準化的2英寸藍寶石基板的厚度為430um,因此精拋的總去除量約在30um左右。考慮到移除率與最后的表面粗糙度Ra,這一步主要以多晶鉆石液配合樹脂錫盤以Lapping的方式進行加工。

  大多數藍寶石基板廠家為了追求穩定性,多采用日本的研磨機臺以及原廠的多晶鉆石液。但是隨著成本壓力的升高以及國內耗材水準的提升,目前國內的耗材產品已經可以替代原廠產品,并且顯著降低成本。

  說到多晶鉆石液不妨多說兩句,對于多晶鉆石液的微粉部分,一般要求顆粒度要集中,形貌要規整,這樣可以提供持久的切削力且表面刮傷比較均勻。國內可以生產多晶鉆石微粉的廠家有北京國瑞升和四川久遠,而國瑞升同時可以自己生產鉆石液,因此在品質與成本上具有較大優勢。美國的Diamond Innovation最近推出了“類多晶鉆石”,實際是對普通單晶鉆石的一種改良,雖然比較堅固的結構能提供較高的切削力,但是同時也更容易造成較深的刮傷。

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