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圖 2 單片式電容傳感器平面結構圖為了滿足傳感器具有較大的初始電容和較高的靈敏度 ，又要保證傳感器單方向尺寸不能過大 ，綜合幾方面因素 ，將單片式電容傳感器設計成鏢盤狀結構。單片式電容傳感器的結構如圖 2所示。圖中相連的三個弧狀金屬板構成電容的一個極板 ，另外相連的三個弧狀金屬板構成電容的另一個極板。兩個極板在同一個平面內 ，平面的上方構成了工作區間、這種單片式電容傳感器利用了電容的邊緣效應進行工作。當被測薄膜貼近傳感器表面時 ，則改變了工作區間的介電常數 ，從而改變了電容量 ，就能夠檢測出被測薄膜的厚度值。實際應用中傳感器的各極板應該用厚度為011mm的鈦板制造 ，并且粘附在一塊溫度系數很小的非金屬材料上 ，在非金屬材料的另一個表面上附上一層同樣厚度的鈦 ，形成一個保護極板。此極板接地 ，以抵抗外部電磁干擾 ，這就是三極板單片式電容傳感器。它是對于雙平行
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