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在微細通孔電化學(xué)微加工中，由于電解液更新困難而引起的加工過程的不穩(wěn)定性一直是一個尚未解決的問題。因此，本文采用微螺旋電極與噴射電解液相結(jié)合的方法，對微細通孔的電化學(xué)微細加工進行了研究。借助于微螺旋電極的高速旋轉(zhuǎn)及其螺旋形狀，可以攪拌內(nèi)部電解液，而外部噴射電解液可以沿螺旋槽流入孔內(nèi)，有效地刷新電解液，從而提高電解金屬錳的加工穩(wěn)定性。首先，研究了工藝參數(shù)對無導(dǎo)電掩模微螺旋電極在電解金屬錳中制備微通孔的影響。在優(yōu)化工藝參數(shù)的基礎(chǔ)上，成功地獲得了入口尺寸為121.6μm、出口尺寸為114.9μm的微孔。此外，本文還嘗試用涂有非導(dǎo)電掩膜的微螺旋電極來減小雜散腐蝕的不良影響。結(jié)果表明，在脈沖頻率較低（《1khz）的條件下，涂在微螺旋電極表面的非導(dǎo)電掩模可以顯著提高加工精度，但隨著脈沖頻率的增加，其良好的防雜散腐蝕效果逐漸減弱
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