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集成電路工藝技術(shù)教程之半導(dǎo)體襯底的詳細資料說明

2018-11-19 | pdf | 3.13 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

本文檔的主要內(nèi)容詳細介紹的是集成電路工藝技術(shù)教程半導(dǎo)體襯底的詳細資料說明主要內(nèi)容包括了:1、集成電路發(fā)展歷程回顧 2、描述天然硅原料如何加工提煉成半導(dǎo)體級硅 (semiconductor-grade silicon, SGS)。 3、解釋晶體結(jié)構(gòu)與單晶硅的生長技術(shù)。 4、討論硅晶體的主要缺陷。 5、簡單敘述由硅晶錠加工成為硅晶圓的基本步驟。 6、說明并討論晶圓供應(yīng)商所需進行的7項品質(zhì)測量項目。 7、外延層及其重要性。

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