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本文針對LDMOS 器件在ESD 保護應用中的原理進行了分析，重點討論了設計以及應用過程中如何降低高觸發電壓和有效提高二次擊穿電流，結合實際工藝對器件進行參數優化，得到了承受4KV ESD 電壓的LDMOS器件。
ESD（Electrostatic Discharge）現象對集成電路的可靠性造成了巨大威脅，利用片內半導體器件形成保護電路是提高ESD 保護的重要手段[1]。一般的消費電子產品要求在人體放電模式（ HBM ，Human-Body Mode）模式下承受的ESD 電壓大于2KV。智能功率集成電路通常需要高低壓器件兼容集成來實現，橫向雙擴散絕緣柵場效應晶體管（LDMOS，Lateral Double Diffused MOS Transistor）具有較高耐壓，且與雙極、CMOS 低壓工藝兼容，易于集成而被廣泛應用于智能功率IC 中。同時，LDMOS 被廣泛選用對高壓通道進行ESD 保護。本文利用雙金屬層、0.6μm 雙極-互補MOS-雙擴散MOS（BCD）工藝下的LDMOS 來實現一塊智能功率IC 輸出端口的靜電保護，并成功通過測試，有效提高了芯片的可靠性。
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