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電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>用激光探針測量半導體器件中的載流子濃度調制效應

用激光探針測量半導體器件中的載流子濃度調制效應

2010-11-27 | rar | 359 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:本文采用1.3UM HE-NE激光或LNGAASP/INP半導體激光作探針,實時,無損地測量硅半導體器件中的自由載流子濃度的變化,從理論上分析了器件內自由載流子濃度變化引起的折射率改變及由此產生的光相位調制.
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