資料介紹
常用的 FBAR 模型有三種:Mason 模型、BVD 和 MBVD 模型。 Mason 模型基于是 FBAR 的物理模型,BVD 和 MBVD 模型是 FBAR 的行為模型 Mason 模型 Mason 模型是一維的物理模型。可以很好的表征出 FBAR 的每一層物理結構。壓電材料模型可以理解為在非壓電材料的電學模型(下左圖)上,增加聲 / 電轉(zhuǎn)換電路(下右圖)。在這個電路基礎上,可以再添加頂電極層、底電極層、支撐層等等,完成整個 FBAR 的等效電路,如下圖。(計算網(wǎng)絡終端阻抗的方法用的是微波電路里的傳輸線方程,這讓我倍感親切)
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