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GaN基準垂直肖特基功率二極管(SBD)的設(shè)計與制備

2023-02-27 | pdf | 0.36 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

依托先進的半導體器件仿真設(shè)計平臺,天津賽米卡爾科技有限公司技術(shù)團隊實現(xiàn)了擊穿電壓為420 V的GaN基準垂直肖特基功率二極管的設(shè)計方案(SFP-SBD:具有側(cè)壁場板的GaN 基準垂直肖特基功率二極管),并在藍寶石襯底上制備了該器件結(jié)構(gòu)。技術(shù)團隊對所制備的器件進行了電流-電壓測試[圖1(a)],通過在器件側(cè)壁及臺面邊緣處制備場板結(jié)構(gòu),有效降 低了臺面邊緣處的電勢及電流密度[圖1(b)和(c)],從而抑制了因刻蝕工藝導致的側(cè)壁缺陷對載流子的復合效應(yīng)。
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