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依托先進(jìn)的半導(dǎo)體器件仿真設(shè)計(jì)平臺(tái)，天津賽米卡爾科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了擊穿電壓為420 V的GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管的設(shè)計(jì)方案（SFP-SBD：具有側(cè)壁場(chǎng)板的GaN 基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管），并在藍(lán)寶石襯底上制備了該器件結(jié)構(gòu)。技術(shù)團(tuán)隊(duì)對(duì)所制備的器件進(jìn)行了電流-電壓測(cè)試[圖1(a)]，通過在器件側(cè)壁及臺(tái)面邊緣處制備場(chǎng)板結(jié)構(gòu)，有效降 低了臺(tái)面邊緣處的電勢(shì)及電流密度[圖1(b)和(c)]，從而抑制了因刻蝕工藝導(dǎo)致的側(cè)壁缺陷對(duì)載流子的復(fù)合效應(yīng)。
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