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PZT薄膜的結晶特性及紅外特性:采用電子束蒸發方法在n - Si (100)襯底上制備Pb ( Zrx Ti1 - x )O3 (簡記為PZT)多晶薄膜. 用X射線衍射分析了PZT薄膜的結晶擇優取向與Zr /Ti成分比、生長溫度、退火氣氛和退火溫度的關系. 結果表明不同Zr /Ti比的薄膜在真空中退火都形成(110)擇優取向;而在空氣中退火后薄膜的擇優方向與Zr/Ti成分比有關, Zr /Ti比值小時為(101)擇優取向, Zr /Ti大時為(100)擇優取向. 紅外吸收光譜的測量結果表明(100)和(110)擇優取向的PZT薄膜在長紅外波段(8～12μm)存在較強的吸收峰, 而(101)擇優取向的PZT薄膜在這一波段沒有明顯的吸收峰.
關鍵詞: PZT材料; 擇優取向; X射線衍射; 紅外吸收光譜
關鍵詞: PZT材料; 擇優取向; X射線衍射; 紅外吸收光譜
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