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自旋閥結(jié)構(gòu)薄膜及其自由層的特性研究
劉 鵬
（清華大學(xué)微電子學(xué)研究所，北京，100084）
摘 要：基于自旋閥結(jié)構(gòu)的磁傳感器因其優(yōu)良的性能，在傳感器家族中具有越來越重要的地位。在自旋閥磁傳感器的研制過程中，自旋閥薄膜的制備與性能優(yōu)化是其中最為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。具有優(yōu)良特性的自旋閥薄膜是制造高性能自旋閥磁傳感器的重要基礎(chǔ)。本文介紹了自旋閥薄膜的特點(diǎn)和性能參數(shù)，介紹了自由層對(duì)自旋閥性能的影響，并介紹了如何通過改進(jìn)自由層結(jié)構(gòu)對(duì)自旋閥薄膜的性能進(jìn)行優(yōu)化。
關(guān)鍵詞：自旋閥 自由層 磁電阻率 矯頑力
劉 鵬
（清華大學(xué)微電子學(xué)研究所，北京，100084）
摘 要：基于自旋閥結(jié)構(gòu)的磁傳感器因其優(yōu)良的性能，在傳感器家族中具有越來越重要的地位。在自旋閥磁傳感器的研制過程中，自旋閥薄膜的制備與性能優(yōu)化是其中最為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。具有優(yōu)良特性的自旋閥薄膜是制造高性能自旋閥磁傳感器的重要基礎(chǔ)。本文介紹了自旋閥薄膜的特點(diǎn)和性能參數(shù)，介紹了自由層對(duì)自旋閥性能的影響，并介紹了如何通過改進(jìn)自由層結(jié)構(gòu)對(duì)自旋閥薄膜的性能進(jìn)行優(yōu)化。
關(guān)鍵詞：自旋閥 自由層 磁電阻率 矯頑力
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