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潔凈室的溫濕度控制設計 The design of temperature and humidity control in clean rooms
1 溫濕度控制的特性以及常見問題
1.1 溫濕度控制的特性
對濕空氣單純地加熱或制冷過程，是含濕量保持不變的過程，即絕對濕度保持不變的過程。濕空氣經過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反，對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應升高，因此我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，則單純靠加熱/冷卻過程是不能實現的。冷卻去濕過程是濕空氣經冷卻達到飽和后繼續制冷的過程，濕空氣經過冷卻盤管析出水滴從而降低了絕對濕度，起到降濕的作用。因而我們可以將空氣處理過程分為加熱、加熱加濕、制冷、制冷再熱和制冷加濕等5個部分，如圖1所示。圖1中，橫坐標為含濕量，即每千克干空氣所含有的水蒸汽量;縱坐標為溫度。由目標狀態絕對濕度線、目標溫度和目標濕度線以及機器露點的危險警戒濕度
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