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新的 DFM 設(shè)計(jì)流程使用了明導(dǎo)的Calibre YieldAnalyzer 在所有的版圖設(shè)計(jì)層進(jìn)行關(guān)鍵區(qū)域分析（CAA）。CAA 能夠找出易發(fā)生因?yàn)殡S機(jī)微粒所造成的版圖布局短路或斷路缺陷的區(qū)域。Calibre YieldAnalyzer 也進(jìn)行關(guān)鍵特征分析（CFA），對(duì)傳統(tǒng)建議的規(guī)則進(jìn)行擴(kuò)大分析。YieldAnalyzer 使用了一個(gè)基于模型的方法來自動(dòng)把布局幾何測量參數(shù)填入良品率公式來確定布局設(shè)計(jì)中對(duì)制造工藝的變異窗口具有高敏感度的區(qū)域。之后YieldAnalyzer 就把結(jié)果數(shù)據(jù)以便于理解的圖表形式呈現(xiàn)給工程師。舉例來說，CFA 分析能夠確定由于工藝變異所引起的系統(tǒng)性問題的熱點(diǎn)，這些問題包括光刻、CMP、阻抗穩(wěn)定性和蝕刻特性。YieldAnalyzer 為設(shè)計(jì)師提供專門指導(dǎo)使他們能夠快速確定熱點(diǎn)，并進(jìn)行優(yōu)先級(jí)的評(píng)級(jí)，來決定對(duì)布局層做怎樣的改動(dòng)可以最大程度的提高良品率。
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