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文章對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染物類型及造成污染的主要原因做了詳細(xì)介紹。為減少對半導(dǎo)體集成電路的污染，必須保證半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)在高度潔凈的環(huán)境中進(jìn)行。集成電路制造業(yè)是一個(gè)在超凈化環(huán)境中，使用超純材料，進(jìn)行超微細(xì)加工的產(chǎn)業(yè)。文章還對各種潔凈標(biāo)準(zhǔn)做了詳細(xì)介紹。隨著集成電路生產(chǎn)目前進(jìn)入深亞微米及納米級工藝加工階段，工藝參數(shù)以及圖形線寬也發(fā)生了變化，因此對潔凈度等級、工藝中所使用的材料品種和純度指標(biāo)的要求還在不斷提升
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