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在玻璃基體上,采用射頻磁控濺射方法在不同的基體溫度下制備了TiO2 薄膜,然后在薄膜中注入注量分別為5 ×1016 , 1 ×1017和5 ×1017 / cm2 的N離子以制備N摻雜的TiO2 薄膜。X射線衍射結果表明:制備出的TiO2 薄膜為銳鈦礦型。X 射線光電子能譜研究結果表明:注入的N 離子與TiO2 晶粒相互作用,形成了含氮的TiOxN22x化合物,從而改變了TiO2 薄膜的吸收邊;隨N 離子注量增加,吸收邊移動更明顯;同時,由于氮離子注入產生的輻照缺陷使TiO2 薄膜在紫外和可見光區的吸收也明顯增強。
關鍵詞: TiO2 薄膜; 銳鈦礦; 氮摻雜; 離子注入; 吸收光譜; 射頻磁控濺射
TiO2 由于其具有催化活性高、化學穩定性高、持續時間長、安全無毒以及成本低廉等優點被認為是最具開發前途的環保型光催化材料,有著廣闊的應用前景[123 ] 。自1972 年日本Fujishima 和Honda[4 ] 發現TiO2 單晶電極光分解水以來,多相光催化反應引起人們的濃厚興趣,科學家們對此進行大量的研究。盡管TiO2 具有如此多的優越特性,但是光催化性能效率不高始終是TiO2 應用過程中的一個難題,因此探索該過程的機理,致力提高光催化效率多年來一直是TiO2 研究的熱點。
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