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提出了一種基于結構組件庫的MEMS概念設計方法。給出了結構組件的表征形式,探討了基于功能分解的結構組件模型獲取方法,借以形成支持概念設計的結構組件模型庫。闡明了MEMS概念設計時如何通過行為匹配自動檢索出相關組件及其行為鏈組合、通過對行為鏈組合進行功能結構細化獲得備選的器件方案。結合航空及空氣動力學領域急需的MEMS微型剪應力傳感器實例對該概念設計方法進行了闡述。研究表明,該方法對于提高MEMS概念設計效率及方案創新能力、促進MEMS概念設計工具化有積極作用。
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