資料介紹
一、? 原理
在板面銅箔上貼上一層感光材料(感光油或干膜),然后通過黑菲林進(jìn)行對位曝光,顯影后形成線路圖形。
二、? 工藝流程圖:
三、化學(xué)清洗
1.??? 設(shè)備:化學(xué)清洗機(jī)
2.??? 作用:a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;
???????? b. 粗化Cu表面,增強(qiáng)Cu表面與感光油或干膜之間的結(jié)合力。
3.??? 流程圖:
?
4.??? 檢測洗板效果的方法:
a.?a.??? 水膜試驗(yàn),b.?要求≥30s
5.??? 影響洗板效板的因素:除油速度、除油劑濃度、微蝕溫度、總酸度、Cu2+濃度、壓力、速度
6.??? 易產(chǎn)生的缺陷:開路(清洗效果不好導(dǎo)致甩菲林),短路(清潔不凈產(chǎn)生垃圾)。
四、轆干膜
1.??? 設(shè)備:手動轆膜機(jī)
2.??? 作用:在銅板表面上貼上一層感光材料(干膜);
3.??? 影響貼膜效果的主要因素:溫度、壓力、速度;
4.??? 貼膜易產(chǎn)生的缺陷:內(nèi)短(菲林碎導(dǎo)致Cu點(diǎn))、內(nèi)開(甩菲林導(dǎo)致少Cu);
五、轆感光油
1.??? 設(shè)備:轆感光油機(jī)、自動粘塵機(jī);
2.??? 作用:在已清洗好的銅面上轆上一層感光材料(感光油);
3.??? 流程:
?
4.?????? 影響因素:感光油粘度、速度;焗板溫度、速度。
5.??? 產(chǎn)生的缺陷:內(nèi)開(少Cu)。
六、曝光
1.??? 設(shè)備/工具:曝光機(jī)、10倍鏡、21Step曝光尺、手動粘塵轆;
2.??? 曝光機(jī),在已轆感光油或干膜的板面上拍菲林后進(jìn)行曝光,從而形成線路圖形;
3.??? 影響曝光的主要因素:曝光能量、抽真空度、清潔度;
4.??? 易產(chǎn)生的缺陷:開路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)。
七、DES LINE
I、顯影
1.??? 設(shè)備:DES LINE;
2.??? 作用:將未曝光的感光材料溶解掉,留下已曝光的部分從而形成線路;
3.??? 主要藥水:Na2CO3溶液;
4.??? 影響顯影的主要因素:
a.?a.??? 顯影液Na2CO3濃度;
b.?b.??? 溫度;
c.?c.??? 壓力;
d.?d.??? 顯影點(diǎn);
e.?e.??? 速度。
5.??? 易產(chǎn)生的主要缺陷:開路(沖板不盡、菲林碎)、短路(沖板過度)。
II、蝕刻:
1.??? 設(shè)備:DES LINE;
2.??? 作用:蝕去沒有感光材料保護(hù)的Cu面,從而形成線路;
3.??? 主要藥水:HCl、H2O2、CuCl2;
4.??? 影響因素:Cu2+濃度、濕度、壓力、速度、總酸度;
5.??? 易產(chǎn)生的主要缺陷:短路(蝕刻不盡)、開路(蝕刻過度)。
III、褪膜:
1.??? 設(shè)備:DES LINE;
2.??? 作用:溶解掉留在線路上面的已曝光的感光材料;
3.??? 主要藥水:NaOH
4.??? 影響因素:NaOH濃度、溫度、速度、壓力;
5.??? 易產(chǎn)生的主要缺陷:短路(褪膜不盡)。
八、啤孔:
1.??? PE啤機(jī);
2.??? 作用:為過AOI及排板啤管位孔;
3.??? 易產(chǎn)生缺陷:啤歪孔。
九、環(huán)境要求:
1. 潔凈房:
溫度:203℃?? ;? 相對濕度:555% 含塵量:0.5m以上的塵粒≤10K/立方英尺
? 2. PE機(jī)啤孔房: 溫度:205℃?? ;? 相對濕度:40~60%
十、安全守則:
1.?1.??? 化學(xué)清洗機(jī)及DES LINE加藥水時(shí)必須戴防酸防堿的膠手套,2.?保養(yǎng)時(shí)須戴防毒面罩;
3.?2.??? 手不4.?能接觸正在運(yùn)作的轆板機(jī)熱轆;
5.?3.?????? 不6.?得赤手接觸感光油,7.?保養(yǎng)ROLLER COATER機(jī)時(shí)必須戴防毒面罩;
8.?4.?????? 未斷電時(shí)不9.?得打開曝光機(jī)機(jī)門,10.?更不11.?能讓UV光漏出。
十一、環(huán)保事項(xiàng):
1.??? 化學(xué)處理機(jī)及DES LINE的廢水及廢液在每班下班之前半個小時(shí)經(jīng)專一的管道排放至廢水站進(jìn)行處理。
2.??? 干膜之邊角料、廢紙箱、廢紙皮、報(bào)廢黑菲林、菲林保護(hù)膜等由生產(chǎn)部收集起來放在垃圾桶內(nèi),由清潔工收走。
3.??? 空感光油膜桶、硫酸桶、鹽酸桶、除泡劑瓶、菲林水桶及片堿袋由生產(chǎn)部依MEI051處理回倉。
在板面銅箔上貼上一層感光材料(感光油或干膜),然后通過黑菲林進(jìn)行對位曝光,顯影后形成線路圖形。
二、? 工藝流程圖:
三、化學(xué)清洗
1.??? 設(shè)備:化學(xué)清洗機(jī)
2.??? 作用:a. 除去Cu表面的氧化物、垃圾等;
???????? b. 粗化Cu表面,增強(qiáng)Cu表面與感光油或干膜之間的結(jié)合力。
3.??? 流程圖:
?
4.??? 檢測洗板效果的方法:
a.?a.??? 水膜試驗(yàn),b.?要求≥30s
5.??? 影響洗板效板的因素:除油速度、除油劑濃度、微蝕溫度、總酸度、Cu2+濃度、壓力、速度
6.??? 易產(chǎn)生的缺陷:開路(清洗效果不好導(dǎo)致甩菲林),短路(清潔不凈產(chǎn)生垃圾)。
四、轆干膜
1.??? 設(shè)備:手動轆膜機(jī)
2.??? 作用:在銅板表面上貼上一層感光材料(干膜);
3.??? 影響貼膜效果的主要因素:溫度、壓力、速度;
4.??? 貼膜易產(chǎn)生的缺陷:內(nèi)短(菲林碎導(dǎo)致Cu點(diǎn))、內(nèi)開(甩菲林導(dǎo)致少Cu);
五、轆感光油
1.??? 設(shè)備:轆感光油機(jī)、自動粘塵機(jī);
2.??? 作用:在已清洗好的銅面上轆上一層感光材料(感光油);
3.??? 流程:
?
4.?????? 影響因素:感光油粘度、速度;焗板溫度、速度。
5.??? 產(chǎn)生的缺陷:內(nèi)開(少Cu)。
六、曝光
1.??? 設(shè)備/工具:曝光機(jī)、10倍鏡、21Step曝光尺、手動粘塵轆;
2.??? 曝光機(jī),在已轆感光油或干膜的板面上拍菲林后進(jìn)行曝光,從而形成線路圖形;
3.??? 影響曝光的主要因素:曝光能量、抽真空度、清潔度;
4.??? 易產(chǎn)生的缺陷:開路(曝光不良)、短路(曝光垃圾)。
七、DES LINE
I、顯影
1.??? 設(shè)備:DES LINE;
2.??? 作用:將未曝光的感光材料溶解掉,留下已曝光的部分從而形成線路;
3.??? 主要藥水:Na2CO3溶液;
4.??? 影響顯影的主要因素:
a.?a.??? 顯影液Na2CO3濃度;
b.?b.??? 溫度;
c.?c.??? 壓力;
d.?d.??? 顯影點(diǎn);
e.?e.??? 速度。
5.??? 易產(chǎn)生的主要缺陷:開路(沖板不盡、菲林碎)、短路(沖板過度)。
II、蝕刻:
1.??? 設(shè)備:DES LINE;
2.??? 作用:蝕去沒有感光材料保護(hù)的Cu面,從而形成線路;
3.??? 主要藥水:HCl、H2O2、CuCl2;
4.??? 影響因素:Cu2+濃度、濕度、壓力、速度、總酸度;
5.??? 易產(chǎn)生的主要缺陷:短路(蝕刻不盡)、開路(蝕刻過度)。
III、褪膜:
1.??? 設(shè)備:DES LINE;
2.??? 作用:溶解掉留在線路上面的已曝光的感光材料;
3.??? 主要藥水:NaOH
4.??? 影響因素:NaOH濃度、溫度、速度、壓力;
5.??? 易產(chǎn)生的主要缺陷:短路(褪膜不盡)。
八、啤孔:
1.??? PE啤機(jī);
2.??? 作用:為過AOI及排板啤管位孔;
3.??? 易產(chǎn)生缺陷:啤歪孔。
九、環(huán)境要求:
1. 潔凈房:
溫度:203℃?? ;? 相對濕度:555% 含塵量:0.5m以上的塵粒≤10K/立方英尺
? 2. PE機(jī)啤孔房: 溫度:205℃?? ;? 相對濕度:40~60%
十、安全守則:
1.?1.??? 化學(xué)清洗機(jī)及DES LINE加藥水時(shí)必須戴防酸防堿的膠手套,2.?保養(yǎng)時(shí)須戴防毒面罩;
3.?2.??? 手不4.?能接觸正在運(yùn)作的轆板機(jī)熱轆;
5.?3.?????? 不6.?得赤手接觸感光油,7.?保養(yǎng)ROLLER COATER機(jī)時(shí)必須戴防毒面罩;
8.?4.?????? 未斷電時(shí)不9.?得打開曝光機(jī)機(jī)門,10.?更不11.?能讓UV光漏出。
十一、環(huán)保事項(xiàng):
1.??? 化學(xué)處理機(jī)及DES LINE的廢水及廢液在每班下班之前半個小時(shí)經(jīng)專一的管道排放至廢水站進(jìn)行處理。
2.??? 干膜之邊角料、廢紙箱、廢紙皮、報(bào)廢黑菲林、菲林保護(hù)膜等由生產(chǎn)部收集起來放在垃圾桶內(nèi),由清潔工收走。
3.??? 空感光油膜桶、硫酸桶、鹽酸桶、除泡劑瓶、菲林水桶及片堿袋由生產(chǎn)部依MEI051處理回倉。
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