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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>射頻集成化薄膜電感的設計和制備

射頻集成化薄膜電感的設計和制備

2010-02-22 | rar | 247 | 次下載 | 3積分

資料介紹

射頻集成化薄膜電感的設計和制備

介紹了一種新型的基于硅IC 模擬電路工藝的射頻集成薄膜電感。描述了集成薄膜電感的工作原理。采用一個緊湊集總電路模型來等效模擬集成化電感的電路效應。結合硅基模擬IC 工藝技術,采用磁性材料薄膜層的設計,給出薄膜電感工藝流程,制備了薄膜電感樣品。在1MHz~1GHz 的頻率范圍內對薄膜電感樣品進行了阻抗特性和Q 值的測試。樣品串聯電感值為5. 52nH ,在600~800MHz 時,獲得最大為1. 4 的Q 值。

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