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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>控制多晶硅(poly-Si)/4H-SiC異質結二極管能壘高度(ΦB)的方法

控制多晶硅(poly-Si)/4H-SiC異質結二極管能壘高度(ΦB)的方法

2024-04-23 | pdf | 0.35 MB | 次下載 | 1積分

資料介紹

  我們實驗研究了一種控制多晶硅(poly-Si)/4H-SiC異質結二極管(HJD)能壘高度(ΦB)的方法,并使用ΦB控制對一種新型低VON和低反向恢復電流二極管進行了數值模擬。摻砷n+-poly-Si的HJD的ΦB為0.79eV,摻硼p+-poly-Si的HJD為1.59eV。通過改變多晶硅的摻雜劑和離子注入劑量,ΦB可以控制在很寬的范圍內。還提出了一種新的合并HJD(M-HJD),通過ΦB控制獲得了兩個不同的ΦB值。數值模擬結果表明,在高反向電壓下,M-HJD在不增加反向漏電流的情況下降低了VON。

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