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針對雙光纖F—P 干涉儀測量高精度表面粗糙度的原理, 提出波長的空間掃描方法, 并對其構成進行了分析。
關鍵詞 光纖傳感器 粗糙度測量 波長掃描
Abstract The space scan method of wavelength is put fo rward fo r the p rincip le of the dual FFP I senso r measur2 ing p recise surface roughness, and it s basic const ruct ion is discussed.
Key words Op t ical fiber senso r Roughness measurement Wavelength scanning
關鍵詞 光纖傳感器 粗糙度測量 波長掃描
Abstract The space scan method of wavelength is put fo rward fo r the p rincip le of the dual FFP I senso r measur2 ing p recise surface roughness, and it s basic const ruct ion is discussed.
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