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微電子設備(激光調(diào)阻機) 中的運動控制系統(tǒng)是該設備的重要部分,它決定了設備的生產(chǎn)質(zhì)量和生產(chǎn)效率。其特點是:高精度、高速度、高效率、高可靠性。尤其是硬件發(fā)生故障或人工非法操作時,系統(tǒng)的自監(jiān)控、自診斷顯得特別重要。介紹采用多任務實時控制器6K6 (美國PARKER) ,按照事件驅(qū)動響應方式設計控制直線伺服電機、交流伺服電機、步進電機的速度和定位精度;并通過輸出接口模塊對氣動元件的電磁閥進行開關量控制使機械手運行自如;通過輸入接口模塊對多種傳感器(光纖傳感器、對射式光電傳感器、反射式光電傳感器、接近式傳感器、磁感應傳感器。) 進行監(jiān)測等。使運動系統(tǒng)具有更高的可靠性、高精度和超高速,實現(xiàn)了產(chǎn)品的自動輸送及完成生產(chǎn)過程中的各種相對運動。降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,提高設備效率,增強競爭能力,為實現(xiàn)現(xiàn)代化大規(guī)模生產(chǎn)提供了有力保障,填補了國內(nèi)空白。
關 鍵 詞:激光調(diào)阻機; 多任務實時控制器; 電機驅(qū)動器
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