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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>形狀記憶合金薄膜在微機電系統中的應用

形狀記憶合金薄膜在微機電系統中的應用

2009-07-14 | rar | 306 | 次下載 | 3積分

資料介紹

形狀記憶合金(SMA) 薄膜因其特有的形狀記憶合金效應、超彈性行為以及薄膜材料所特有的優越性能,而在微機電系統中的微驅動器和微傳感器方面極具應用潛力。本文主要介紹了以TiNi 基合金為主的形狀記憶合金薄膜在微驅動器和微傳感器上的國內外應用性研究現狀,并展望了其未來的發展趨勢。
關鍵詞:  形狀記憶合金;形狀記憶效應;超彈性;微機電系統;微驅動器;微傳感器
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