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近年來(lái)。利用小型、集成化的微型化光學(xué)系統(tǒng)的傳感器光學(xué)體統(tǒng)的傳感器技術(shù)在微機(jī)械領(lǐng)域得到了長(zhǎng)足的發(fā)展（見(jiàn)表1）。利用微細(xì)加工技術(shù)使批量生產(chǎn)和降低成本成為可能，而光學(xué)元件、電子元件和微機(jī)械元件的集成化可望實(shí)現(xiàn)高功能化和智能化，從而人們期望這些元件在工業(yè)方面得到廣泛應(yīng)用。光學(xué)元件的集成形式有光波導(dǎo)型、在硅基底上自由配置光學(xué)元件的自由空間型和混合型三種。在制作方法上，分為只利用程序加工技術(shù)集成光學(xué)元件的單片集成和將一部分光學(xué)原件表面組裝在一起的混合集成兩種。單片集成不需對(duì)每個(gè)光學(xué)元件準(zhǔn)直，一次即可批量生產(chǎn)。而混合集成則具有將多種不同光學(xué)元件組合在一起自由度大可三維集成的優(yōu)點(diǎn)。
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